FH413A05三軸電容加速度傳感器MEMS低頻

FH413A05三軸加速度傳感器說(shuō)明書(shū)

一、簡(jiǎn)介

FH413A05 三軸加速度傳感器由我公司自行研制，用于測(cè)量加速度的傳感器。它采用低功耗、高精度、低噪聲MEMS芯片，具有 BIMOS 信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有低功耗、高可靠性和高封裝堅(jiān)固性，并具自檢測(cè)（Self-Test）等功能，可實(shí)現(xiàn)自檢測(cè)。

本產(chǎn)品可用于汽車(chē)測(cè)控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、 傾斜、速度和位置的慣性、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)中。

二、原理

FH413A05三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面 MEMS 多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克 服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊 相連的中央板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來(lái)測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié) 構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。

三、技術(shù)條件

四、接線端子定義