FT1000SA三軸MEMS零頻電容加速度傳感器

一、傳感器特點：

FT1000SA三軸MEMS三軸電容加速度傳感器由本公司自行研制，用于測量單軸加速度的傳感器。它采用高精度MEMS芯片，具有BIMOS信號限制電路。設(shè)計考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有高可靠性和高封裝堅固性。

  本產(chǎn)品可用于汽車測控、慣性導航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統(tǒng)中。

二、產(chǎn)品性能

FT1000SA系列MEMS電容三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質(zhì)塊相連的板形成的差動電容器機構(gòu)來測量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號。