企業(yè)特殊行業(yè)經(jīng)營資質(zhì)信息公示
營業(yè)執(zhí)照已認(rèn)證 
點(diǎn)擊圖片查看原圖KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率，可對大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
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控溫方式 |
數(shù)字式功率調(diào)整器 |
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鍍膜功能 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
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*大功率 |
≤800W |
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*大輸出電壓電流 |
電壓≤10V 電流≤80A |
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真空度 |
機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
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擋板類型 |
電控 |
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樣品室 |
石英腔體φ160mm x 160mm |
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樣品臺 |
可旋轉(zhuǎn)φ62 （*大可安裝φ50基底） |
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樣品臺轉(zhuǎn)速 |
8轉(zhuǎn)/分鐘 |
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樣品熱源調(diào)節(jié)距離 |
70-140mm |
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蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) |
≤1600℃ |
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蒸發(fā)坩堝容積 |
3ML |
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真空法蘭 |
KF25抽氣口 KF25擴(kuò)展口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
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可選配擴(kuò)展 |
1 膜厚在線測試 2 分子泵 |
