KT-Z165M4LT精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面*可升溫到*400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。真空信號連接處使用軍工級別真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針**處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學(xué)信號。

溫控器

加熱溫度 ;高溫型 35-400℃ 低溫型 室溫- -50℃

注意：熱臺溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。

溫控誤差 :±1℃

熱電偶類型 :PT100高精度傳感器

溫控表 :宇電PID溫控器

程序控溫 :1段（可選30段程序控溫表）

加熱功率 :≤300W

加熱電源 :AC220v

尺寸 :230x230x125MM

重量 :6kg

真空探針熱臺

腔體材質(zhì) :304不銹鋼

加工方式 :一體式CNC精加工

內(nèi)腔體尺寸 :137X57X21mm 容積165ML

加熱臺尺寸 :Φ35mm

觀察窗內(nèi)徑 ：45mm

觀察窗材質(zhì) ：透光石英玻璃

信號輸出頭 ：SMA母頭 配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米

電學(xué)性能 :絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V

抽氣口 :KF16

進(jìn)氣口 :6MM卡套

使用正壓 :≤O.05MPa

使用負(fù)壓 :機(jī)械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa

可擴(kuò)展配件 : 氣體液體注射口   4芯電信號接頭    8芯電信號接頭

SMA905 光纖接口 :  擴(kuò)展5KV高壓電極    升級30段控溫儀表

移動探針

探針規(guī)格 :  探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm   

上下移動距離 : 2.5mm

前后移動距離 :±10mm

左右旋轉(zhuǎn)距離 :120°