精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面**可升溫到**400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

      該腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用軍工級別真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針頂尖處由3軸可移動探針手動調節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

主要產(chǎn)品有真空鍍膜腔體、真空制成腔體、稀有氣體儲氣罐、低溫容器、大、中、小真空模擬系統(tǒng)等。

多種結構型態(tài)：球型、方腔、圓柱型及其它要求的形狀；

多種材質：不銹鋼材質 (304、304L、316,、316L) 、碳鋼材質。

另外，客戶訂制的真空室都可通過我們的工程設計，與您現(xiàn)有的真空系統(tǒng)融合，成為一套功能完整的系統(tǒng)。也可以通過我們的工程設計，預留標準接口及裝配位置，方便您日后增配或更換真空部件，實現(xiàn)系統(tǒng)的升級或功能的轉換

方型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ100mm，臺面**可升溫到**350℃。該腔體設計有進氣口和抽真空接口和2-4芯信號真空電極，*多可選用6芯電極。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，由內(nèi)部探針行將樣品電極引入腔體的信號線連接到外部測試儀器，外部信號線連接測試儀器來測試電子信號。