精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺,臺面為φ30,臺面最高可升溫到最高400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針,特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。
該腔體設(shè)計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達<5Pa分子泵可達<-3Pa。真空信號連接處使用軍工級別真空電極信號接頭,保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面,探針頂尖處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處,外部信號線連接測試儀器來測試電學(xué)信號。
溫控器 |
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加熱溫度 |
35-400℃ 注意:熱臺溫度和樣品溫度存在偏差
客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。 |
溫控誤差 |
±1℃ |
熱電偶類型 |
PT100高精度傳感器 |
溫控表 |
宇電PID溫控器 |
程序控溫 |
1段(可選30段程序控溫表) |
加熱功率 |
≤300W |
加熱電源 |
AC220v |
尺寸 |
230x230x125MM |
重量 |
6kg |
真空探針熱臺 |
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腔體材質(zhì) |
304不銹鋼 |
加工方式 |
一體式CNC精加工 |
內(nèi)腔體尺寸 |
137X57X21mm 容積165ML |
加熱臺尺寸 |
Φ35mm |
觀察窗內(nèi)徑 |
Φ45mm |
觀察窗材質(zhì) |
高透光石英玻璃 |
信號輸出頭 |
SMA母頭 配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米 |
電學(xué)性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ
介質(zhì)耐壓 ≤500V |
抽氣口 |
KF16 |
進氣口 |
6MM卡套 |
使用正壓 |
≤O.05MPa |
使用負(fù)壓 |
機械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa |
可擴展配件 |
氣體液體注射口 4芯電信號接頭 8芯電信號接頭 SMA905
光纖接口 擴展5KV高壓電極 升級30段控溫儀表 |
移動探針 |
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探針規(guī)格 |
探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm |
上下移動距離 |
2.5mm |
前后移動距離 |
±10mm |
左右旋轉(zhuǎn)距離 |
120° |