???? 該探針臺(tái)的承片臺(tái)X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)。

????? 探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。

實(shí)驗(yàn)腔體

腔體材質(zhì)：304不銹鋼

上蓋開啟：鉸鏈側(cè)開

內(nèi)腔體尺寸：φ140x180

加熱臺(tái)材質(zhì)：304不銹鋼

觀察窗尺寸：φ75

加熱臺(tái)尺寸：50x50

加熱臺(tái)溫度：室溫-350℃可調(diào)

加熱臺(tái)溫控誤差：±1℃

真空度：機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

真空抽氣口：KF25

氣體進(jìn)氣口：3mm-6mm卡套接頭

進(jìn)氣閥門：高精密針閥

抽氣閥門：KF25真空擋板閥

壓力表：機(jī)械壓力表 -0.1-0.15mpa

信號(hào)電極：4個(gè)

探針數(shù)量：4個(gè)

探針材質(zhì)：φ1.5鎢針 其他材質(zhì)可選

探針移動(dòng)平臺(tái)：X軸移動(dòng)行程 實(shí)驗(yàn)腔體

手機(jī)/微信：152 8682 6848

QQ：760625767

聯(lián)系人：李工