??????? 標(biāo)準(zhǔn)復(fù)合分子泵機(jī)組是一臺清潔的高真空獲得設(shè)備。此設(shè)備是根據(jù)真空知識原理，利用機(jī)械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng)，具有啟動時(shí)間快、真空度高、操作方便等特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域。設(shè)備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等

技術(shù)參數(shù)：

控制方式

手動控制

前級泵

雙極4旋片真空泵

前級泵抽氣速率

4L/S

前級泵極限壓強(qiáng)

≤1Pa

分子泵

F-100/110 43000轉(zhuǎn)/分

分子泵抽氣速率

100L/S

分子泵啟動時(shí)間

≤3min

空載極限壓強(qiáng)

≤1X10-4Pa

真空測量范圍

電阻單元1E﹢5到1E-1 Pa

電離單元 5到5E-5Pa

抽氣接口

KF25

系統(tǒng)電源

AC220V

系統(tǒng)功率

1KW

環(huán)境溫度

5~32℃

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷卻

濕度

≤80%

噪音

＜60分貝

外形尺寸

430 X500 X 650mm

重量

65KG

隨機(jī)配件：KF25高真空擋板閥X1個(gè) KF25卡箍X3個(gè) kf25-1.5米不銹鋼波紋管x1根 說明書X1本 電源線x1根 油污過濾器X1個(gè)（已安裝）