????? 探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本

???????? 該探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。

腔體材質(zhì) ：304不銹鋼

上蓋開啟 ：鉸鏈側(cè)開

內(nèi)腔體尺寸： φ140x180

加熱臺材質(zhì) ：304不銹鋼

觀察窗尺寸 ：φ75

加熱臺尺寸 ：50x50

加熱臺溫度 :室溫-350℃可調(diào)

加熱臺溫控誤差: ±1℃

真空度 機械泵；≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

真空抽氣口 :KF25

氣體進氣口 :3mm-6mm卡套接頭

進氣閥門 :高精密針閥

抽氣閥門 :KF25真空擋板閥

壓力表 :機械壓力表 -0.1-0.15mpa

信號電極 ;4個

探針數(shù)量 :4個

探針材質(zhì) :φ1.5鎢針 其他材質(zhì)可選

探針移動平臺

X軸移動行程 :30mm ±15mm

X軸控制精度 ;≤0.1MM

Y軸移動行程 ;13MM ±6.5mm

Y軸控制精度 ;≤0.05MM

Z軸移動行程 :13mm ±6.5mm

Z軸控制精度 :≤0.05MM

信號電極

電極芯 1芯

電極引出接頭 ;BNC母頭

電極引出線 :銅網(wǎng)信號屏蔽線

BNC引出接頭 X4

額定電流 ;≤5A

額定電壓 ;≤220V

電極芯直徑 ;φ1mm

接觸電阻 ：≤5MΩ

絕緣電阻 ：≥1000 MΩ

外殼接地； 是

電子顯微鏡

電子顯微鏡根據(jù)客戶需要配置不同倍率 請和客服溝通

做氣體傳感器的客戶可以選擇本公司的多通道智能氣體配比系統(tǒng)

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