一、產(chǎn)品簡介：

該設(shè)備ZYG1700-100是一款小型的雙溫區(qū)管式爐；真空系統(tǒng)搭配機(jī)械泵+分子泵真空度可達(dá)6.67*10-4pa，根據(jù)客戶的實(shí)際需求，安裝有4路進(jìn)氣口，為了更**的控制進(jìn)氣的精度在每一路進(jìn)氣安裝有質(zhì)量流量計(jì)，量程分別為；安裝有混氣系統(tǒng)與設(shè)備分開單獨(dú)控制，操作起來更為方便；

采用真空吸附成型的高純氧化鋁纖維爐膛保溫部分采用硅酸鋁澆鑄纖維真空澆注模塊，熱效率高，輕、薄、節(jié)能、施工簡捷；加熱元件采用U型硅鉬棒，有效保證了較好恒溫區(qū)和溫度均勻度；爐管采用耐高溫的高純剛玉管管子的尺寸為：φ100*1400mm、有效溫區(qū)為：φ90*400mm，加熱區(qū)為：φ90*700mm；；法蘭采用水冷密封結(jié)構(gòu)使用310S的不銹鋼材料無縫滿焊而成；法蘭的水為上進(jìn)下出，接口為φ8的卡套式接頭；可有效保證設(shè)備能夠長期高溫使用，有效避免了高溫狀態(tài)下密封圈形變漏氣等隱患；進(jìn)氣口為設(shè)備的左側(cè)，在左側(cè)法蘭上；排氣閥、真空泵、尾氣燃燒裝置的位置在設(shè)備的右側(cè)法蘭上；采用PID溫控調(diào)節(jié)，使?fàn)t溫控制精度達(dá)到±1℃；搭配全自動控制系統(tǒng)，所有溫度系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)均集成于觸摸屏及PLC內(nèi)；客戶只需一鍵啟動即可;此款設(shè)備可做CVD氣象沉積，硅碳包覆，退火，燒結(jié)等工藝；被高校、科研院所、工礦企業(yè)廣泛用于材料或化學(xué)實(shí)驗(yàn)室在真空或保護(hù)氣氛狀態(tài)下燒結(jié)各種新材料樣品；

二、主要技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱

CVD管式爐

產(chǎn)品型號

ZYG1700-100

*高溫度

≤1600℃

工作溫度

RT-1600℃

管子尺寸

Φ100*5*1400mm（直徑*壁厚*長）；如果更小或更短的管子能滿足客戶的需求，建議使用：φ80/φ60*1400mm的剛玉管或者φ80/φ100*1200mm的剛玉管；這樣斷裂的風(fēng)險會大大降低；

恒溫區(qū)尺寸

Φ90*400mm（直徑*長）

溫區(qū)個數(shù)

雙溫區(qū)（兩點(diǎn)控溫）

加熱元件

U型硅鉬棒

爐管材質(zhì)

高純剛玉管

流量計(jì)

質(zhì)量流量計(jì)（北京七星華創(chuàng)）

溫控儀表

日本山武

PLC

西門子

觸摸屏

昆侖通態(tài)

冷水機(jī)

1P冷水機(jī)

真空系統(tǒng)

搭配機(jī)械泵（寧波鮑斯）+分子泵（世紀(jì)久泰），真空度可達(dá)6.67*10-4pa

可通氣氛

保溫材質(zhì)

高純氧化鋁多晶纖維部分選用硅酸鋁澆鑄纖維真空澆注模塊

溫控系統(tǒng)

PID調(diào)節(jié)、自整定功能；

測溫方式

B型熱電偶（鉑銠）

控溫精度

±1.0℃

升溫速率

≤20℃/min（推薦升溫≤10℃/min）

溫場均勻度

±5°

*大功率

20KW

工作電源

AC 380V Single- Phase，50/60 Hz