1.1主要用途

Cchip-0019型紫外光刻機(jī)主要用于常規(guī)微型器件、結(jié)構(gòu)的微細(xì)加工及微流體結(jié)構(gòu)、MEMS、雙向可控硅、聲表面波器件、大功率整流器及石英晶體諧振器等特種器件、結(jié)構(gòu)的雙面深度微細(xì)加工。此外，該設(shè)備還可作為相關(guān)實(shí)驗(yàn)設(shè)備廣泛應(yīng)用于高校及研究所開展微細(xì)加工工藝研究。

1.2 主要特點(diǎn)

（1）結(jié)合**的CCD圖像對(duì)準(zhǔn)技術(shù)、采用紫外LED平行光照明及手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)的總體設(shè)計(jì)思路，結(jié)構(gòu)新穎，整機(jī)性能優(yōu)越，曝光操作直觀、方便。

（2）掩模版取放倒置吸附、樣片取放采用推拉式基準(zhǔn)平板、真空吸附的方式，方便快捷，工作效率高。

（3）新穎的高精度、多自由度掩模-樣片精密對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使掩模-樣片的對(duì)準(zhǔn)精度及速度得到極大提高。