真空離子氮化的特點(diǎn)是：

1）滲氮速度較快，可適當(dāng)縮短滲氮周期，離子氮化時(shí)間短，能縮短到氣體氮化時(shí)間的1/3～2/3。。

2）滲氮層脆性小，離子氮化表面形成的白層很薄，甚至沒(méi)有，另外引起的變形小，特別適宜于形狀復(fù)雜的***零件。

3）易于實(shí)現(xiàn)局部氮化，非滲氮部位便于保護(hù)，采用機(jī)械屏蔽、用鐵板隔斷保護(hù)。

4）離子轟擊有凈化表面作用，自動(dòng)去除鈍化膜，不銹鋼、耐熱鋼材料無(wú)需預(yù)先去除鈍化膜，可使不銹鋼、耐熱鋼工件直接滲氮。

5）化合物層結(jié)構(gòu)、滲層厚度和組織可以控制。

6）處理溫度范圍較寬，即使在350℃以下也能獲得一定厚度的滲氮層。

7)勞動(dòng)條件有所改善，***、離子滲氮處理在很低的壓力下進(jìn)行，排出的廢氣極少。

8）可以適用于各種材料，包括要求氮化溫度高的不銹鋼、耐熱鋼，以及氮化溫度較低的工模具(工具鋼)和***零件，而低溫氮化對(duì)氣體氮化來(lái)說(shuō)是相當(dāng)困難的。