KT-Z165M4RT精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面*可升溫到*400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

      該腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用軍工級別真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針**處由3軸可移動探針手動調節(jié)移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。

溫控器 ：熱溫度

高溫型 35-400℃ 低溫型 室溫- -50℃

注意：熱臺溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應分度值做校準。

溫控誤差   ：±1℃

熱電偶類型 ：PT100高精度傳感器

溫控表 :宇電PID溫控器

程序控溫 ;1段（可選30段程序控溫表）

加熱功率 ;≤300W

加熱電源 ;AC220v

尺寸 ;230x230x125MM

重量 ;6kg

真空探針熱臺

腔體材質 ;304不銹鋼

加工方式 ;一體式CNC精加工

內腔體尺寸; 137X57X21mm 容積165ML

加熱臺尺寸 ;Φ35mm

觀察窗內徑 ;Φ45mm

觀察窗材質 ;高透光石英玻璃

信號輸出頭 ;SMA母頭 配線 SMA轉BNC 1.5米

電學性能 ;絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V

抽氣口 ;KF16

進氣口 ;6MM卡套

使用正壓 ;≤O.05MPa

使用負壓; 機械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa

可擴展配件 ;氣體液體注射口     4芯電信號接頭     8芯電信號接頭

SMA905 光纖接口

擴展5KV高壓電極

升級30段控溫儀表

移動探針

探針規(guī)格 ;探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm

上下移動距離 ;2.5mm

前后移動距離 ;±10mm

左右旋轉距離; 120°