科探儀器設(shè)備實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)適用于各類清潔、干燥氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)并配以多種信號(hào)輸出,通過通訊接口可實(shí)現(xiàn)對(duì)流量計(jì)的靈活配置與參數(shù)查詢。實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)具備LED數(shù)字顯示和按鍵功能,允許用戶在現(xiàn)場調(diào)整或查詢流量計(jì)的參數(shù)。實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)原理是利用流動(dòng)氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系,在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。
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實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時(shí),在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時(shí),氣體的流動(dòng)將破壞該溫度場的分布,形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào),由一個(gè)專門的電路變送器對(duì)此信號(hào)進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對(duì)傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的擾動(dòng)不同,因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。
實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)的選用可從以下幾個(gè)方面考慮。
1.測量的對(duì)象。即測量介質(zhì)種類、壓力大小、化學(xué)性質(zhì)。如液體介質(zhì)、氣體介質(zhì),對(duì)具腐蝕性的介質(zhì)則應(yīng)選擇實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)。
2.實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)本身性能。上述條件確定后一般講,若價(jià)格沒有大的變化,可優(yōu)先選用針閥置于實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)上部的;有較大流通孔的,是直接流量刻度的;結(jié)構(gòu)簡單的;外部尺寸較小的等等。
3.根據(jù)價(jià)格選用。一般講,精度高的價(jià)格高。要根據(jù)測量目的選用實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)精度等級(jí),如只須控制測量介質(zhì)通過量,經(jīng)試運(yùn)行調(diào)整,以后需始終穩(wěn)定這個(gè)通過量,那么精度就是次要的。
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