?LCD光刻膠是什么?
光刻膠一般在低溫避光條件下貯存,因此使用光刻膠前先把膠從低溫環(huán)境中取出,直到瓶內(nèi)膠的溫度和室內(nèi)空氣的溫度一致時(shí),開啟光刻膠的瓶蓋,膠在使用前粘度須行測試。因?yàn)槟z粘度高時(shí),涂膠厚抗蝕性雖然高,但其分辨低,相反膠的粘度低時(shí),其抗蝕能力較差,但其分辨率高,通常膠粘度的調(diào)整,使用稀釋的方法,即將高粘度的膠調(diào)成低粘度膠。涂膠前的ITO玻璃表面狀況對光刻膠與ITO層粘附質(zhì)量影響極大。在生產(chǎn)過程中為保證ITO膜與光刻膠間有良好的接觸和粘性,清洗后的玻璃須干凈及干燥。
涂膠的質(zhì)量要求是:膠與ITO粘附良好,不能有脫落現(xiàn)象;涂膠厚度均勻一致,不能有厚有薄,這樣在顯影,蝕刻時(shí)會出現(xiàn)圖形缺陷。涂膠的表面一般不允許有條紋、針孔、突起等缺陷。涂膠是通過膠輥將光刻膠均勻地涂在ITO玻璃正面上。為確保涂膠質(zhì)量,涂膠工作須在潔凈的條件下進(jìn)行.