一、勻膠機(jī)工作原理：

勻膠機(jī)(英文名：Spin Coater & Spin Processor) 行業(yè)俗稱：勻膠臺(tái)、甩膠機(jī)、旋涂機(jī)、涂膠機(jī)、鍍膜機(jī)、涂層機(jī)等，其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠旋涂機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

二、德國(guó)POLOS勻膠旋涂?jī)x SPIN200i產(chǎn)品概述：

SPIN200i采用了無(wú)刷式馬達(dá)，可實(shí)現(xiàn)基底片順時(shí)針、逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，擁有著比一般地有刷電機(jī)單向旋轉(zhuǎn)所沒(méi)有的優(yōu)勢(shì)，同時(shí)也具有著更好的耐腐蝕性，適應(yīng)于鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備、半導(dǎo)體芯片制造、MEMS制版的表面涂覆。且具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng)，可以保證旋涂過(guò)程中膠厚度的一致性和均勻性。

三、德國(guó)POLOS勻膠旋涂?jī)x SPIN200i主要性能指標(biāo)：

1、適用基板尺寸：10-260mm直徑圓片，6英寸方片；

2、旋涂腔體直徑：302 毫米；

3、旋涂轉(zhuǎn)速范圍: 1~12000RPM**，±1rpm steps；

4、旋涂加速度：1~30000RPM/S；

5、旋涂精度: ±0.1rpm；

6、程序段數(shù)：無(wú)限制；

7、操作步數(shù)：無(wú)限制；

8、旋轉(zhuǎn)時(shí)間：無(wú)限制*，±0.1 Second steps；

9、旋轉(zhuǎn)方向：順時(shí)針，逆時(shí)針，順、逆時(shí)針交換擺動(dòng)；

10、擴(kuò)展接口：1個(gè)USB接口；

11、馬達(dá)保護(hù)：20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm（可關(guān)閉）；

12、馬達(dá)：無(wú)刷直流電機(jī)

13、腔體材質(zhì)：天然聚丙烯，特殊應(yīng)用可選用高耐化學(xué)性的PTFE（TFM™）；

14、排廢連接：1" M-NPT；

15、觸屏控制：全彩觸摸屏控制界面；

16、配套真空泵系統(tǒng)：無(wú) 油 型 220~240伏交流，50/60赫茲；