化學(xué)名稱:全氟丁二烯，六氟-1,3-丁二烯

結(jié)構(gòu)式:CF2=CF-CF=CF2

分子式:C4F6

分子量:162.03

沸點（℃):6

凝固點（℃）:-130

臨界溫度（℃）:139.6

臨界壓力（bar）:31.9

液體密度（15℃，kg/l）:1.44

蒸汽密度（kg/m3,@15℃）:6.8

蒸汽壓（25℃，bar）:2.11

汽化潛熱（熔點時，1.013bar情況下，kJ/kg）:161.8

空氣中的可燃范圍（%vol):7-73

ODP:0

GWP100年:＜1

大氣停留時間（天）:1.1

全氟丁二烯/C4F6作為一種溫室效應(yīng)GWP極低，綠色環(huán)保的高效干蝕刻氣體，具有更快刻蝕速率、更高選擇性和更高**性，更適合于高深寬比的蝕刻工藝。