企業(yè)特殊行業(yè)經營資質信息公示
點擊圖片查看原圖PICOSUN原子層沉積系統(tǒng)ALD R-1000 Pro
（PICOSUN™ ALD ALD P-1000 Pro）
名稱：原子層沉積系統(tǒng) 產地：芬蘭
Picosun簡介
Picosun是一家全球公司，Picosun的總部位于芬蘭的Espoo，其生產設施位于芬蘭的Masala（Kirkkonummi）。PICOSUN®ALD設備專為高產量和高產量而設計，并且不斷發(fā)展以提高效率。Picosun適應性強其客戶包括*** 大的電子制造商，小型的創(chuàng)新型挑戰(zhàn)者以及全球ling先的大學。 Picosun的組織機構和種類繁多的ALD解決方案都可以滿足每個客戶的需求。PICOSUN®研發(fā)工具具有獨特的內置可擴展性，可確保將研究結果平穩(wěn)過渡到大批量工業(yè)制造中，而不會出現(xiàn)技術差距。Picosun的熱情在于創(chuàng)新。當您想與設備制造商共同創(chuàng)建定制的ALD解決方案，從而引ling行業(yè)發(fā)展時，Picosun是您的合作伙伴。
型號：PICOSUN™ ALD ALD P-1000 Pro
PICOSUN™ P系列量產ALD系統(tǒng)定義了高產量ALD的新時代。我們全自動化、真空集群與產線兼容的P系列ALD確保了*大的產出效率，并且具有***的工藝純度和薄膜均勻性，甚至能完全滿足具有*嚴格要求的半導體行業(yè)標準。PICOSUN™ P系列ALD高效緊湊的設計節(jié)約了昂貴的場地成本，系統(tǒng)的易維護性減少了停工期。ALD技術可以覆蓋各種形狀、各種表面的樣品，可以覆蓋*細小的地方，*難到達的地方。具有高度的保形性、均一性及****無針孔。這使得ALD可以應用于各種行業(yè)里，實現(xiàn)各種表面的保護。ALD薄膜可以附著在各種表面上，例如金屬，玻璃，塑料，乃至纖維及粉末。作為氣相、低溫的沉積技術，ALD薄膜可以生長在非常敏感的表面上，例如聚合物薄膜。
技術指標
|
襯底尺寸和類型 |
156 mm x 156 mm硅片800～1000片/批次（雙面/背對背） |
|
高達400 mm x 600 mm玻璃基板30～50片/批次（雙面/背對背） |
|
|
大批量的3D產品（例如：鐘表部件，珠寶，硬幣，醫(yī)療植入部件，機械部件等） |
|
|
多孔，通孔，高深寬比（HAR）樣品 |
|
|
工藝溫度 |
50 - 500 °C |
|
基片傳送選件 |
氣動升降（手動裝載，帶叉車forklift cart） |
|
全自動轉載，用工業(yè)機器人實現(xiàn) |
|
|
前驅體 |
液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源 |
|
前驅源余量傳感器，并提供清洗和裝源服務 |
|
|
8根獨立源管線，*多加載12個前驅體源 |
|
|
重量 |
2000 kg |
|
尺寸(W x H x D) |
230 cm x 270 cm x 125 cm |
|
選件 |
PICOFLOW™ 擴散增強器，N2發(fā)生器，尾氣處理器，定制設計，與工廠軟件連接服務。 |
應用領域
Picosun的ALD技術應用在鐘表部件、珠寶、硬幣上進行防著色，防腐蝕的裝飾涂層。在生物植入醫(yī)療部件上的生物兼容、生物活性涂層。致密、惰性、密封、彈性、透明的ALD薄膜技術挑戰(zhàn)傳統(tǒng)的膜生長方式。在PCB防腐蝕保護、防摩損等領域，ALD層大大提升了部件的質量、可靠性及壽命。
|
ALD工業(yè)領域及應用 |
|
|
產品 |
ALD應用 |
|
醫(yī)療植入（牙科，連接技術） |
植物活性層， 用來提高骨融 |
|
手術固定器 |
合，生物兼容的包覆層 |
|
植入醫(yī)療器件 |
生物兼容包覆層 |
|
（心臟起搏器，耳蝸植入） |
|
|
收藏性硬幣 |
防著色涂層 |
|
鐘表部件 |
防著色層或裝飾層 |
|
珠寶 |
防著色層或裝飾層 |
|
PCB |
防錫晶須及腐蝕 |
