企業(yè)特殊行業(yè)經(jīng)營資質(zhì)信息公示
點(diǎn)擊圖片查看原圖PICOSUN原子層沉積系統(tǒng)ALD R-200 Pro
（PICOSUN™ ALD R-200 S Pro）
原子層沉積系統(tǒng)（ ALD P-200）
名稱：原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)地：芬蘭
Picosun簡介
Picosun是yi家全球公司，Picosun的總部位于芬蘭的Espoo，其生產(chǎn)設(shè)施位于芬蘭的Masala（Kirkkonummi）。PICOSUN®ALD設(shè)備專為高產(chǎn)量和高產(chǎn)量而設(shè)計(jì)，并且不斷發(fā)展以提高效率。Picosun適應(yīng)性強(qiáng)其客戶包括*** 大的電子制造商，小型的創(chuàng)新型挑戰(zhàn)者以及全球ling先的大學(xué)。 Picosun的組織機(jī)構(gòu)和種類繁多的ALD解決方案都可以滿足每個(gè)客戶的需求。PICOSUN®研發(fā)工具具有獨(dú)特的內(nèi)置可擴(kuò)展性，可確保將研究結(jié)果平穩(wěn)過渡到大批量工業(yè)制造中，而不會(huì)出現(xiàn)技術(shù)差距。Picosun的熱情在于創(chuàng)新。當(dāng)您想與設(shè)備制造商共同創(chuàng)建定制的ALD解決方案，從而引ling行業(yè)發(fā)展時(shí)，Picosun是您的合作伙伴。
PICOSUN™ P系列量產(chǎn)ALD系統(tǒng)定義了高產(chǎn)量ALD的新時(shí)代。我們?nèi)詣?dòng)化、真空集群與產(chǎn)線兼容的P系列ALD確保了***大的產(chǎn)出效率，并且具有***的工藝純度和薄膜均勻性，甚至能完全滿足具有***嚴(yán)格要求的半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。PICOSUN™ P系列ALD高效緊湊的設(shè)計(jì)節(jié)約了昂貴的場地成本，系統(tǒng)的易維護(hù)性減少了停工期。對于系統(tǒng)的維護(hù)、工藝故障的排除，我們?yōu)榭蛻籼峁I(yè)的售后服務(wù)Picosupport™。根據(jù)用戶的需求，確保每時(shí)每（24/7/365）快速提供全面的解決方案。在購買之前，我們提供做樣服務(wù)，確保系統(tǒng)具有***好的性能，完全滿足您的需求。
技術(shù)指標(biāo)
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襯底尺寸和類型 |
50 – 200 mm /單片 |
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156 mm x 156 mm 太陽能硅片 |
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150 mm x 150 mm 顯示面板 |
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工藝溫度 |
50 - 500 °C , 可選更高溫度 |
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基片傳送選件 |
氣動(dòng)升降（手動(dòng)裝載） |
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半自動(dòng)裝載，用PICOPLATFORM™200集群系統(tǒng)實(shí)現(xiàn) |
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25片晶圓盒對盒式全自動(dòng)裝載（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™200集群系統(tǒng)實(shí)現(xiàn) |
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標(biāo)準(zhǔn) |
SEMI S2 認(rèn)證（認(rèn)證中） |
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前驅(qū)體 |
液態(tài), 固態(tài), 氣態(tài), 臭氧源, 等離子體（***多4路氣體）： |
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前驅(qū)源余量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù) |
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6根獨(dú)立源管線，***多加載12個(gè)前驅(qū)體源（加上Plasma管路，共7根獨(dú)立源管線） |
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重量 |
790 kg |
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尺寸 (W x H x D) |
160 cm x 80 cm x 240 cm |
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可選件 |
集群工具, PICOFLOW™ 擴(kuò)散增強(qiáng)器, 集成橢偏儀, QCM, RGA, N2發(fā)生器，尾氣處理器，定制設(shè)計(jì)，與 工廠軟件連接服務(wù)。 |
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驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn) |
標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為 Al2O3 工藝， |
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其他工藝可具體協(xié)商：其他工藝、應(yīng)用具體驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)如： |
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--不均勻性 |
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--顆粒物含量 |
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--重金屬污染 |
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--電學(xué)性能 |
應(yīng)用領(lǐng)域
PICOSUN™ 200mm 生產(chǎn)線上的產(chǎn)品是200mm以下晶圓的自動(dòng)化、高產(chǎn)量的工業(yè)ALD加工設(shè)備。包括PICOSUN™ P系列Pro ALD設(shè)備。該工具可以獨(dú)立工作，也可以集成到PICOPLATFORM™200真空集群系統(tǒng)以達(dá)到更高的產(chǎn)量和自動(dòng)化水平。為了節(jié)約昂貴的設(shè)施空間，所有PICOSUN™的ALD系統(tǒng)有著緊湊，高效的設(shè)計(jì)。集成的專業(yè)機(jī)柜，裝載著前驅(qū)體和電子元件，保證了快速簡便的維護(hù)和***短的停機(jī)時(shí)間。PICOSUN™ P系列Pro工具保證了***大產(chǎn)能以及***節(jié)約成本的情況下得到**的ALD工藝質(zhì)量，并履行嚴(yán)格的現(xiàn)代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)力和安全要求。
