S8000 系列（NEW ! ）

追求ji致性能！完成具挑戰(zhàn)性的納米分析工作。TESCAN推出了全新yi代S8000系列掃描電鏡，目前包括：S8000型超高分辨場發(fā)射掃描電鏡和S8000G型鎵離子聚焦離子束雙束掃描電鏡。

S8000 FE-SEM

全新設計的S8000超高分辨場發(fā)射掃描電鏡可以提供****的圖像質量，具有強大的擴展分析能力，能夠滿足現(xiàn)今工業(yè)研發(fā)和科研的所有需求，不僅適用于高端的納米分析應用，也給操作者帶來舒適、高效的使用體驗。 S8000 FE-SEM的優(yōu)點： 新yi代鏡筒內(nèi)電子加速、減速技術，保證了復雜樣品的低電壓高分辨觀測能力 **配置的靜電-電磁復合物鏡，物鏡無磁場外泄，實現(xiàn)磁性樣品高分辨成像及

S8000G FIB-SEM

S8000G是TESCAN新S8000系列掃描電鏡的第yi個新成員，是yi款超高分辨雙束FIB-SEM系統(tǒng)，它可以提供****的圖像質量，具有強大的擴展分析能力，并能以ji佳的精度、效率完成復雜的納米加工和操作，可滿足現(xiàn)今工業(yè)研發(fā)和學術界研究的所有需求。 S8000G FIB-SEM的優(yōu)點： 新yi代鏡筒內(nèi)電子加速、減速技術，保證了復雜樣品的低電壓高分辨觀測能力 **配置的靜電-

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產(chǎn)品列表

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應用實例

S8000G FIB-SEM

S8000G是TESCAN**S8000系列掃描電鏡的**個新成員，是一款超高分辨雙束FIB-SEM系統(tǒng)，它可以提供****的圖像質量，具有強大的擴展分析能力，并能以**的精度、效率完成復雜的納米加工和操作，可滿足現(xiàn)今工業(yè)研發(fā)和學術界研究的所有需求。 S8000G FIB-SEM的優(yōu)點： 新一代鏡筒內(nèi)電子加速、減速技術，保證了復雜樣品的低電壓高分辨觀測能力 **配置的靜電-

S8000 系列（NEW ! ）S8000G FIB-SEM

S8000G是TESCAN**S8000系列掃描電鏡的**個新成員，是一款超高分辨雙束FIB-SEM系統(tǒng)，它可以提供****的圖像質量，具有強大的擴展分析能力，并能以**的精度、效率完成復雜的納米加工和操作，可滿足現(xiàn)今工業(yè)研發(fā)和學術界研究的所有需求。

S8000G FIB-SEM的優(yōu)點：

· 新一代鏡筒內(nèi)電子加速、減速技術，保證了復雜樣品的低電壓高分辨觀測能力

· **配置的靜電-電磁復合物鏡，物鏡無磁場外泄，實現(xiàn)磁性樣品高分辨成像及分析

· 配置4個新一代探測器，可實現(xiàn)9種圖像觀測，對樣品信息的***更加全面

· 配置大型樣品室，有超過20個擴展接口，為原位觀測、分析創(chuàng)造了良好的工作環(huán)境

· 可以配置TESCAN自有或第三方的多種擴展分析附件，并**實現(xiàn)與TOF-SIMS、Raman聯(lián)用

· 新一代操作軟件和自動功能，F(xiàn)IB鏡筒具有全自動的離子鏡筒對中，極大簡化了操作

· 概述

新一代 Orage? Ga FIB鏡筒，適用于各類具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務TESCAN S8000配置了**的BrightBeam?鏡筒，實現(xiàn)了無磁場超高分辨成像，可以**化的實現(xiàn)各種分析，包括磁性樣品的分析。新型鏡筒中的電子光路設計增強了低能量電子成像分辨率，特別適合對電子束敏感樣品和不導電樣品的分析。創(chuàng)新的Orage? Ga FIB鏡筒配有***的離子槍和離子光學鏡筒，使得TESCAN S8000G成為了世界**的樣品制備和納米圖形成型的儀器。S8000G束流可達100nA，具有超快速的加工能力，新穎的SmartMill高速切割功能，使得加工效率提升一倍。S8000G離子能量**可達500eV，擁有更**的低壓樣品制備能力，可以快速制備無損超薄TEM樣品?？梢耘渲肨ESCAN自有或第三方的多種擴展分析附件，并**實現(xiàn)與TOF-SIMS、Raman一體化。新一代OptiGIS?氣體注入系統(tǒng)S8000可配置**的多種探測器，包括透鏡內(nèi)Axial detector 以及 Multidetector，可選擇不同角度和不同能量來收集信號，體現(xiàn)更多種類的信息，同時獲得更好的表面靈敏度和對比度。S8000G有兩種氣體注入系統(tǒng)可供選擇，標準的5針-GIS和新一代OptiGIS單針-GIS，單針的OptiGIS支持通過更換氣罐來更換化學氣體，避免了以往多針氣體注入系統(tǒng)樣品倉內(nèi)占用空間大的問題。兩種氣體注入系統(tǒng)均可以選擇多種沉積氣體，其中W、Pt、C等用于導電材料沉積，SiOx用于絕緣材料沉積，XeF2、H2O等用于增強刻蝕，或其它定制氣體。新一代Essence?操作軟件，更簡單、高效的操作平臺S8000可配置**的多種探測器新操作軟件極大簡化了用戶界面，能快速訪問各主要功能，減少了繁瑣的下單菜單操作，并優(yōu)化了操作流程向導，易于學習，兼容多用戶需求，可根據(jù)工作需要定制操作界面。新穎的樣品艙內(nèi)3D空間位置和移動軌跡模擬功能，可避免誤操作，造成碰撞。樣品艙內(nèi)的3D空間位置和移動軌跡模擬集成多項創(chuàng)新性設計，拓展新應用領域的利器S8000可配置**的多種探測器S8000G是TESCAN新一代FIB-SEM的**成員，集成了BrightBeam? SEM鏡筒、Orage? GaFIB鏡筒、OptiGIS氣體注入系統(tǒng)等多項創(chuàng)新設計，在高分辨能力、原位應用擴展能力和分析擴展能力方面達到了業(yè)內(nèi)**水平，此外新一代操作流程和軟件也給使用者帶來更舒適、高效的體驗。

 S8000 系列（NEW ! ）S8000 FE-SEM

全新設計的S8000超高分辨場發(fā)射掃描電鏡可以提供****的圖像質量，具有強大的擴展分析能力，能夠滿足現(xiàn)今工業(yè)研發(fā)和科研的所有需求，不僅適用于高端的納米分析應用，也給操作者帶來舒適、高效的使用體驗。

S8000 FE-SEM的優(yōu)點：

· 新yi代鏡筒內(nèi)電子加速、減速技術，保證了復雜樣品的低電壓高分辨觀測能力

· **配置的靜電-電磁復合物鏡，物鏡無磁場外泄，實現(xiàn)磁性樣品高分辨成像及分析

· 配置4個新yi代探測器，可實現(xiàn)9種圖像觀測，對樣品信息的***更加全面

· 配置大型樣品室，有超過20個擴展接口，為原位觀測、分析創(chuàng)造了良好的工作環(huán)境

· 可以配置TESCAN自有或第三方的多種擴展分析附件，如EDS、EBSD、CL、EBL，并du家實現(xiàn)與Raman聯(lián)用

創(chuàng)新的電子光學鏡筒，使電鏡擁有更加出色的超高分辨率TESCAN S8000配置了新的BrightBeam?鏡筒，實現(xiàn)了無磁場超高分辨成像，可以大化的實現(xiàn)各種分析，包括磁性樣品的分析。新型鏡筒中的電子光路設計增強了低能量電子成像分辨率，特別適合對電子束敏感樣品和不導電樣品的分析。另外，EquiPower?透鏡技術可有效減少能量損耗并保證電子鏡筒的穩(wěn)定性。BrightBeam?電子光學鏡筒及探測器系統(tǒng)（A）Axial detector (In-Beam)（B）Multidetector (In-Beam)（C）E-T detector (In-Chamber)（D）Retractable BSE (In-Chamber)配備新的多種探測器，更好的表面靈敏度和對比度S8000可配置新的多種探測器，包括透鏡內(nèi)Axial detector 以及 Multidetector，可選擇不同角度和不同能量來收集信號，體現(xiàn)更多種類的信息，同時獲得更好的表面靈敏度和對比度。

S8000 系列（NEW ! ）S8000G FIB-SEM

S8000G是TESCAN新S8000系列掃描電鏡的第yi個新成員，是yi款超高分辨雙束FIB-SEM系統(tǒng)，它可以提供****的圖像質量，具有強大的擴展分析能力，并能以ji佳的精度、效率完成復雜的納米加工和操作，可滿足現(xiàn)今工業(yè)研發(fā)和學術界研究的所有需求。

S8000G FIB-SEM的優(yōu)點：

· 新yi代鏡筒內(nèi)電子加速、減速技術，保證了復雜樣品的低電壓高分辨觀測能力

· **配置的靜電-電磁復合物鏡，物鏡無磁場外泄，實現(xiàn)磁性樣品高分辨成像及分析

· 配置4個新yi代探測器，可實現(xiàn)9種圖像觀測，對樣品信息的***更加全面

· 配置大型樣品室，有超過20個擴展接口，為原位觀測、分析創(chuàng)造了良好的工作環(huán)境

· 可以配置TESCAN自有或第三方的多種擴展分析附件，并du家實現(xiàn)與TOF-SIMS、Raman聯(lián)用

· 新yi代操作軟件和自動功能，F(xiàn)IB鏡筒具有全自動的離子鏡筒對中，ji大簡化了操作

· 概述

新yi代 Orage? Ga FIB鏡筒，適用于各類具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務TESCAN S8000配置了新的BrightBeam?鏡筒，實現(xiàn)了無磁場超高分辨成像，可以大化的實現(xiàn)各種分析，包括磁性樣品的分析。新型鏡筒中的電子光路設計增強了低能量電子成像分辨率，特別適合對電子束敏感樣品和不導電樣品的分析。創(chuàng)新的Orage? Ga FIB鏡筒配有**的離子槍和離子光學鏡筒，使得TESCAN S8000G成為了世界**的樣品制備和納米圖形成型的儀器。S8000G束流可達100nA，具有超快速的加工能力，新穎的SmartMill高速切割功能，使得加工效率提升yi倍。S8000G離子能量低可達500eV，擁有更**的低壓樣品制備能力，可以快速制備無損超薄TEM樣品?？梢耘渲肨ESCAN自有或第三方的多種擴展分析附件，并du家實現(xiàn)與TOF-SIMS、Ramanyi體化。新yi代OptiGIS?氣體注入系統(tǒng)S8000可配置新的多種探測器，包括透鏡內(nèi)Axial detector 以及 Multidetector，可選擇不同角度和不同能量來收集信號，體現(xiàn)更多種類的信息，同時獲得更好的表面靈敏度和對比度。S8000G有兩種氣體注入系統(tǒng)可供選擇，標準的5針-GIS和新yi代OptiGIS單針-GIS，單針的OptiGIS支持通過更換氣罐來更換化學氣體，避免了以往多針氣體注入系統(tǒng)樣品倉內(nèi)占用空間大的問題。兩種氣體注入系統(tǒng)均可以選擇多種沉積氣體，其中W、Pt、C等用于導電材料沉積，SiOx用于絕緣材料沉積，XeF2、H2O等用于增強刻蝕，或其它定制氣體。新yi代Essence?操作軟件，更簡單、高效的操作平臺S8000可配置新的多種探測器新操作軟件ji大簡化了用戶界面，能快速訪問各主要功能，減少了繁瑣的下單菜單操作，并優(yōu)化了操作流程向導，易于學習，兼容多用戶需求，可根據(jù)工作需要定制操作界面。新穎的樣品艙內(nèi)3D空間位置和移動軌跡模擬功能，可避免誤操作，造成碰撞。樣品艙內(nèi)的3D空間位置和移動軌跡模擬集成多項創(chuàng)新性設計，拓展新應用領域的利器S8000可配置新的多種探測器S8000G是TESCAN新yi代FIB-SEM的**成員，集成了BrightBeam? SEM鏡筒、Orage? GaFIB鏡筒、OptiGIS氣體注入系統(tǒng)等多項創(chuàng)新設計，在高分辨能力、原位應用擴展能力和分析擴展能力方面達到了業(yè)內(nèi)**水平，此外新yi代操作流程和軟件也給使用者帶來更舒適、高效的體驗。

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