主動隔振系統(tǒng)-防震臺-HERZ

 為各類透射式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、發(fā)射式電子顯微鏡、探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、橫向力顯微鏡。白光干涉儀，光刻機，微納米結(jié)構(gòu)和加工儀器！超低頻隔震臺、防震臺、減震臺、除震臺,主動隔振臺，主動減振臺，主動防震臺，主動防振系統(tǒng)。

功能介紹：

是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng)，用于抵消工作環(huán)境對靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動，以提高精密設(shè)備的性能，具有卓越的性能及通用性。該隔振臺的主動隔振頻率為 0.5Hz - 200Hz，被動隔振頻率>200Hz，其能夠整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振的設(shè)備中，主動檢測輸入振動并動態(tài)消除；允許自由選擇整個系統(tǒng)的尺寸和配置，可通過增加隔振模塊的數(shù)量來支持更大的儀器載重量。安裝簡單，易操作，穩(wěn)定性高，能無故障連續(xù)使用多年。

Table Stable主動隔振技術(shù):

-主動和被動兩種隔離機制同時工作，產(chǎn)生**隔振效果

-***的壓電陶瓷技術(shù)，高效探測傳入的振動并主動地消除振動

-無低頻共振

-在空間6個自由度都有**的寬頻譜衰減能力

-高剛性設(shè)計

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