1.設(shè)備簡介

本設(shè)備是一款小型電阻蒸發(fā)鍍膜儀，主要特點(diǎn)是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作，也可整機(jī)放置于手套箱內(nèi)，對實驗室供電要求低；該系列設(shè)備主要部件采用進(jìn)口或者國內(nèi)**的配置，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性；另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運(yùn)行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。

目前該設(shè)備配3組電阻蒸發(fā)源（可兼容金屬與有機(jī)蒸發(fā)），一臺2000W直流蒸發(fā)電源，主要用來開發(fā)納米級單層及多層的金屬導(dǎo)電膜、有機(jī)薄膜等。

2.主要技術(shù)參數(shù)

2.1 腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti**不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接；

2.2 樣品臺尺寸：可拆卸式，尺寸60×60mm，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào)；

2.3 真空系統(tǒng)：機(jī)械泵（TRP-12,3L/s）+Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)；GDC-25b電磁擋板閥；

2.4 極限真空：8.0×10-5Pa；

2.5 真空抽速：大氣～8×10-4Pa ≤ 30min；

2.6 真空測量：全量程復(fù)合真空計，測量范圍：105Pa～10-5Pa；

2.7 蒸發(fā)源：3組電阻蒸發(fā)源，3組間可切換，源間有防污板；

2.8 蒸發(fā)電源：直流蒸發(fā)電源1臺，0 W～2000W連續(xù)可調(diào)，供3組蒸發(fā)源切換使用；

2.9膜厚控制系統(tǒng)：進(jìn)口Inficon SQM-160單水冷探頭，控制精度0.1?；

2.10控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護(hù)提示等功能；

2.11設(shè)備外形：L53.5cm×W52cm×H75cm機(jī)電一體化機(jī)架，預(yù)留1個KF40和一個CF35法蘭接口；

2.12  設(shè)備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；

2.13 冷卻循環(huán)系統(tǒng)：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設(shè)備相關(guān)需水冷

部件提供穩(wěn)定的制冷水；

3.設(shè)備主要配置表

4.設(shè)備主要優(yōu)勢

4.1  實用性：

4.1.1  設(shè)備集成度高，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，可以放置于實驗桌面上即可；

4.1.2  通過更換設(shè)備上下法蘭可以實現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換，實現(xiàn)一機(jī)多用；

4.2  方便性：

4.2.1  設(shè)備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接線及安裝調(diào)試簡單，既保證了設(shè)備使用方便又保證了設(shè)備的整潔性；

4.2.2  設(shè)備可將主機(jī)置于手套箱內(nèi)，水、電、氣等通過4個KF40接口接到手套箱外，與手套箱的對接靈活方便；

4.2.3  設(shè)備工作電壓為220V，整機(jī)功率小于2KW，對實驗室的供電要求低；

4.3  穩(wěn)定性：

4.3.1設(shè)備主要零部件采用進(jìn)口或國內(nèi)知名品牌，保證了設(shè)備的質(zhì)量及穩(wěn)定性；

4.4  **性：

4.4.1  獨(dú)立開發(fā)的PLC+觸摸屏智能操作系統(tǒng)，具有智能控制模式和調(diào)試維修模式；

4.4.2  控制系統(tǒng)具備漏氣自檢與提示功能，當(dāng)設(shè)備漏氣時，系統(tǒng)會自動提示設(shè)備漏氣，以便用戶進(jìn)行檢漏，保證設(shè)備正常穩(wěn)定運(yùn)行；

4.4.3  控制系統(tǒng)具備保養(yǎng)維護(hù)提示功能，當(dāng)設(shè)備運(yùn)行達(dá)到一定時長，系統(tǒng)會自動提示設(shè)備需要維護(hù)保養(yǎng)，以便用戶及時進(jìn)行維護(hù)，保證設(shè)備正常穩(wěn)定運(yùn)行；

4.4.4  控制系統(tǒng)具備通訊故障自檢功能，系統(tǒng)對分子泵、濺射電源、真空規(guī)、電機(jī)、流量計等部件的通訊進(jìn)行自檢，如果某個部件出現(xiàn)故障，可以按照系統(tǒng)中的各部件故障查詢辦法進(jìn)行查詢，及時確認(rèn)故障原因，保證設(shè)備安全；

4.4.5  控制系統(tǒng)具備數(shù)據(jù)記錄與導(dǎo)出功能，控制系統(tǒng)記錄設(shè)備的操作記錄及鍍膜過程數(shù)據(jù)，可以在系統(tǒng)中查看這些數(shù)據(jù)，也可以用U盤導(dǎo)出這些數(shù)據(jù)；

4.4.6  該系統(tǒng)具備三個等級級密碼保護(hù)功能，不同等級不同使用權(quán)限，確保設(shè)備的安全性和數(shù)據(jù)的保密性；

5.設(shè)備安裝條件（用戶自備）

5.1 供電要求

5.1.1  設(shè)備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；

5.1.2  插座距離設(shè)備尺寸≤2m；

5.1.3  其它：如用戶選配冷卻循環(huán)水機(jī)或其它選購件，用戶自行準(zhǔn)備增配件的供電要求，不在安裝條件范圍內(nèi)；

5.2 供水要求

5.2.1  設(shè)備需水冷的部件有蒸發(fā)電極、膜厚儀探頭（如選配膜厚控制系統(tǒng)）；

5.2.2  水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃；

5.3 安裝場地大小要求

 設(shè)備尺寸為：L51.7cm×W53.6cm×H74.5cm，建議安裝場地尺寸≥L60cm×W80cm。

5.4 其他要求

5.4.1  環(huán)境溫度：5～40℃；

5.4.2  環(huán)境濕度：＜85%R.H；

5.4.3  室內(nèi)無大量塵埃，無腐蝕性、易燃易爆氣體；

6.設(shè)備服務(wù)承諾

    尊敬的客戶：

首先感謝您對我們公司產(chǎn)品的信任！

我公司本著“以最合理的價格、最完善的服務(wù)、提供**質(zhì)的產(chǎn)品”的宗旨向您鄭重承諾：

6.1 售后服務(wù)承諾

   6.1.1  產(chǎn)品質(zhì)保期為一年；

   6.1.2 在質(zhì)保期內(nèi)供方將免費(fèi)維修和更換因設(shè)備質(zhì)量原因造成的零部件損壞；

   6.1.3  在質(zhì)保期外設(shè)備零部件的損壞，提供的配件只收成本費(fèi)；

   6.1.4  質(zhì)保期內(nèi)或質(zhì)保期外如設(shè)備出現(xiàn)故障，供方接到用戶的正式通知（含電話或郵件通知）后，我公司技術(shù)人員于48小時內(nèi)，趕到技術(shù)服務(wù)現(xiàn)場并開始維修。

6.2驗收

   6.2.1 我公司負(fù)責(zé)將設(shè)備初驗收合格后，包裝好免費(fèi)運(yùn)送至客戶所在地，經(jīng)檢驗后拆封，供方開始安裝調(diào)試，運(yùn)輸費(fèi)用及安裝調(diào)試費(fèi)用我司負(fù)責(zé)；

   6.2.2 我公司根據(jù)客戶要求，負(fù)責(zé)組織專業(yè)人員對設(shè)備進(jìn)行安裝調(diào)試，客戶需提供基本的安裝條件和專人配合，以確保安裝調(diào)試的順利進(jìn)行；

   6.2.3 設(shè)備安裝調(diào)試到位后，雙方組織驗收，并對驗收單進(jìn)行驗收簽字；

   6.2.4 我公司向客戶提供的設(shè)備資料包括：設(shè)備說明書、驗收單、裝箱單、產(chǎn)品合格證、備品備件清單；

   6.2.5 我公司在客戶安裝現(xiàn)場進(jìn)行的設(shè)備驗收發(fā)生的一切費(fèi)用由我司承擔(dān)；

6.3培訓(xùn)

  6.3.1  我公司派技術(shù)工程師對客戶人員在設(shè)備安裝調(diào)試時進(jìn)行技術(shù)培訓(xùn)。使需方人員能掌握有關(guān)設(shè)備的使用、維護(hù)，達(dá)到能獨(dú)立進(jìn)行操作、維護(hù)等的目的。

  6.3.2  培訓(xùn)地點(diǎn)為客戶設(shè)備使用現(xiàn)場，培訓(xùn)人數(shù)不少于2人，培訓(xùn)時間根據(jù)實際情況而定，培訓(xùn)費(fèi)用由我司承擔(dān)。