1.設(shè)備簡(jiǎn)介

該設(shè)備是一款小型磁控濺射鍍膜儀，主要特點(diǎn)是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊易于操作，對(duì)實(shí)驗(yàn)室供電要求低；該系列設(shè)備主要部件采用進(jìn)口或者國(guó)內(nèi)**的配置，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性；另外自主開(kāi)發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運(yùn)行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。

該設(shè)備標(biāo)配2只Φ2英寸永磁靶，一臺(tái)500W直流濺射電源（用于濺射金屬導(dǎo)電材料），1臺(tái)300W全自動(dòng)匹配射頻濺射電源（用于濺射絕緣材料），主要用來(lái)開(kāi)發(fā)納米級(jí)單層及多層的金屬導(dǎo)電膜、半導(dǎo)體膜以及絕緣膜等。

2.主要技術(shù)參數(shù)

2.1 腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti**不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接；

2.2 樣品臺(tái)尺寸：Ф100mm，高度：60～120mm可調(diào)，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào)；可加熱至300℃；

2.3 真空系統(tǒng)：機(jī)械泵（TRP-12,3L/S）+進(jìn)口Pfeiffer分子泵(Hipace80,67L/s)；GDC-25b電磁擋板閥，DN63mm 限流閥；

2.4 極限真空：8.0×10-5Pa；

2.5 真空抽速：大氣～8×10-4Pa ≤ 30min；

2.6 真空測(cè)量：全量程復(fù)合真空計(jì)，測(cè)量范圍：105Pa～10-5Pa；

2.7 磁控靶：Φ2英寸2只（含靶擋板），兼容直流電源和射頻電源；

2.8 濺射電源：1臺(tái)500W直流濺射電源和1臺(tái)300W全自動(dòng)匹配射頻電源；

2.9 質(zhì)量流量計(jì)：進(jìn)口20sccm、50sccm質(zhì)量流量控制器各一套；

2.10  膜厚控制系統(tǒng)：進(jìn)口Inficon SQM-160單水冷探頭，精度0.1?（選配）；

2.10控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護(hù)提示等功能；

2.11設(shè)備外形：L60cm×W60cm×H96cm機(jī)電一體化機(jī)架，預(yù)留1個(gè)CF35法蘭接口；

2.12 設(shè)備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；

2.13 冷卻循環(huán)系統(tǒng)：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設(shè)備相關(guān)需水冷部件提供穩(wěn)定的制冷水；

3.設(shè)備主要配置表

4.設(shè)備主要優(yōu)勢(shì)

4.1  實(shí)用性：

4.1.1  設(shè)備集成度高，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，可以放置于實(shí)驗(yàn)桌面上即可；

4.1.2通過(guò)更換設(shè)備上下法蘭可以實(shí)現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換，實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用；

4.2  方便性：

4.2.1  設(shè)備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接線及安裝調(diào)試簡(jiǎn)單，既保證了設(shè)備使用方便又保證了設(shè)備的整潔性；

4.2.2  設(shè)備可將主機(jī)置于手套箱內(nèi)，水、電、氣等通過(guò)4個(gè)KF40接口接到手套箱外，與手套箱的對(duì)接靈活方便；

4.2.3  設(shè)備工作電壓為220V，整機(jī)功率小于2KW，對(duì)實(shí)驗(yàn)室的供電要求低；

4.3  穩(wěn)定性：

4.3.1設(shè)備主要零部件采用進(jìn)口或國(guó)內(nèi)知名品牌，保證了設(shè)備的質(zhì)量及穩(wěn)定性；

4.4  先進(jìn)性：

4.4.1  獨(dú)立開(kāi)發(fā)的PLC+觸摸屏智能操作系統(tǒng)，具有智能控制模式和調(diào)試維修模式；

4.4.2  控制系統(tǒng)具備漏氣自檢與提示功能，當(dāng)設(shè)備漏氣時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)提示設(shè)備漏氣，以便用戶進(jìn)行檢漏，保證設(shè)備正常穩(wěn)定運(yùn)行；

4.4.3  控制系統(tǒng)具備保養(yǎng)維護(hù)提示功能，當(dāng)設(shè)備運(yùn)行達(dá)到一定時(shí)長(zhǎng)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)提示設(shè)備需要維護(hù)保養(yǎng)，以便用戶及時(shí)進(jìn)行維護(hù)，保證設(shè)備正常穩(wěn)定運(yùn)行；

4.4.4  控制系統(tǒng)具備通訊故障自檢功能，系統(tǒng)對(duì)分子泵、濺射電源、真空規(guī)、電機(jī)、流量計(jì)等部件的通訊進(jìn)行自檢，如果某個(gè)部件出現(xiàn)故障，可以按照系統(tǒng)中的各部件故障查詢辦法進(jìn)行查詢，及時(shí)確認(rèn)故障原因，保證設(shè)備安全；

4.4.5  控制系統(tǒng)具備數(shù)據(jù)記錄與導(dǎo)出功能，控制系統(tǒng)記錄設(shè)備的操作記錄及鍍膜過(guò)程數(shù)據(jù)，可以在系統(tǒng)中查看這些數(shù)據(jù)，也可以用U盤(pán)導(dǎo)出這些數(shù)據(jù)；

4.4.6  該系統(tǒng)具備三個(gè)等級(jí)級(jí)密碼保護(hù)功能，不同等級(jí)不同使用權(quán)限，確保設(shè)備的安全性和數(shù)據(jù)的保密性；

5.設(shè)備安裝條件（用戶自備）

5.1 供電要求

5.1.1  設(shè)備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；

5.1.2  插座距離設(shè)備尺寸≤2m；

5.1.3  其它：如用戶選配冷卻循環(huán)水機(jī)或其它選購(gòu)件，用戶自行準(zhǔn)備增配件的供電要求，不在安裝條件范圍內(nèi)；

5.2供水要求

5.2.1  設(shè)備需水冷的部件有磁控靶、膜厚儀探頭（如選配膜厚控制系統(tǒng)）；

5.2.2  水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃；

5.3安裝場(chǎng)地大小要求

      設(shè)備尺寸為：長(zhǎng)×寬: L60cm×W60cm，建議安裝場(chǎng)地尺寸≥L60cm×W80cm。

5.4 其他要求

5.4.1  環(huán)境溫度：5～40℃；

5.4.2  環(huán)境濕度：＜85%R.H；

5.4.3  室內(nèi)無(wú)大量塵埃，無(wú)腐蝕性、易燃易爆氣體；

6.設(shè)備服務(wù)承諾

    尊敬的客戶：

首先感謝您對(duì)我們公司產(chǎn)品的信任！

我公司本著“以最合理的價(jià)格、最完善的服務(wù)、提供**質(zhì)的產(chǎn)品”的宗旨向您鄭重承諾：

6.1 售后服務(wù)承諾

   6.1.1  產(chǎn)品質(zhì)保期為一年；

   6.1.2 在質(zhì)保期內(nèi)供方將免費(fèi)維修和更換因設(shè)備質(zhì)量原因造成的零部件損壞；

   6.1.3  在質(zhì)保期外設(shè)備零部件的損壞，提供的配件只收成本費(fèi)；

   6.1.4  質(zhì)保期內(nèi)或質(zhì)保期外如設(shè)備出現(xiàn)故障，供方接到用戶的正式通知（含電話或郵件通知）后，我公司技術(shù)人員于48小時(shí)內(nèi)，趕到技術(shù)服務(wù)現(xiàn)場(chǎng)并開(kāi)始維修。

6.2驗(yàn)收

   6.2.1 我公司負(fù)責(zé)將設(shè)備初驗(yàn)收合格后，包裝好免費(fèi)運(yùn)送至客戶所在地，經(jīng)檢驗(yàn)后拆封，供方開(kāi)始安裝調(diào)試，運(yùn)輸費(fèi)用及安裝調(diào)試費(fèi)用我司負(fù)責(zé)；

   6.2.2 我公司根據(jù)客戶要求，負(fù)責(zé)組織專業(yè)人員對(duì)設(shè)備進(jìn)行安裝調(diào)試，客戶需提供基本的安裝條件和專人配合，以確保安裝調(diào)試的順利進(jìn)行；

   6.2.3 設(shè)備安裝調(diào)試到位后，雙方組織驗(yàn)收，并對(duì)驗(yàn)收單進(jìn)行驗(yàn)收簽字；

   6.2.4 我公司向客戶提供的設(shè)備資料包括：設(shè)備說(shuō)明書(shū)、驗(yàn)收單、裝箱單、產(chǎn)品合格證、備品備件清單；

   6.2.5 我公司在客戶安裝現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行的設(shè)備驗(yàn)收發(fā)生的一切費(fèi)用由我司承擔(dān)；

6.3培訓(xùn)

  6.3.1  我公司派技術(shù)工程師對(duì)客戶人員在設(shè)備安裝調(diào)試時(shí)進(jìn)行技術(shù)培訓(xùn)。使需方人員能掌握有關(guān)設(shè)備的使用、維護(hù)，達(dá)到能獨(dú)立進(jìn)行操作、維護(hù)等的目的。

  6.3.2  培訓(xùn)地點(diǎn)為客戶設(shè)備使用現(xiàn)場(chǎng)，培訓(xùn)人數(shù)不少于2人，培訓(xùn)時(shí)間根據(jù)實(shí)際情況而定，培訓(xùn)費(fèi)用由我司承擔(dān)。