固態(tài)射頻電源常見的型號(hào)包括2MHZ, 13.56MHZ ,27MHZ?和64MHZ,最常應(yīng)用于等離子加工。我們可以根據(jù)客戶的需要,提供1 KW,3KW,10KW,20KW等的不同功率等級(jí)設(shè)備。
產(chǎn)品特性:
- 頻率穩(wěn)定度±3%
- 寬負(fù)載適應(yīng)能力
- 優(yōu)越的可靠性能
應(yīng)用范圍:
??應(yīng)用于所有等離子加工,包括PECVD,HDPCVD,PVD,ALD?等和集成電路,太陽能電池,平板顯示器,LED,數(shù)據(jù)儲(chǔ)存設(shè)備的制造
?具體產(chǎn)品詳情請(qǐng)參見: