ESDP干式螺桿真空泵使用了獨特的螺桿轉(zhuǎn)子型線，動力節(jié)省30%，排氣溫度低，工藝穩(wěn)定，干式螺桿泵產(chǎn)品適用于各種領(lǐng)域的真空工藝，也維持了**佳的真空效率和耐用性。ESDP系列不使用油和水，用可變壓縮方式操作，水蒸氣和液態(tài)混合工藝，非常適合干燥，溶劑回收，化工，制藥，塑料等各種真空工藝。

 ESDP干式螺桿泵的應(yīng)用范圍

　　●ESDP系列在半導(dǎo)體合成及液晶生產(chǎn)上的應(yīng)用，主要有半導(dǎo)體等離子增強氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝，液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0，以保護工件免受污染。

　　● 在石油化工中，主要是抽取可凝性氣體，或有毒氣體，或腐蝕性氣體，或含有微塵的氣體。

　　●制藥行業(yè)，用于藥物的真空干燥，藥物中間體回收，回收氣體消毒劑，為人造器官提供清潔無菌條件等。

　　●化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工藝

　　●工業(yè)排氣;集中式真空處理系統(tǒng)

　　●擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝

　　●混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染，及噴射器中的阻塞物

　　●食品行業(yè)用于香料、香精濃縮，食品包裝等。

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