VCVD 系列真空感應(yīng)氣相沉積爐適用于化學(xué)氣相沉積法制備碳-碳復(fù)合材料，如飛機剎車片等。也可做為硬質(zhì)合金制品的燒結(jié)、碳化以及高溫石墨化的設(shè)備。是科學(xué)院校研究，生產(chǎn)**、航天材料必不可缺的設(shè)備。其工作原理是在真空條件或保護(hù)氣氛下，利用中頻感應(yīng)方法將置于感應(yīng)線圈內(nèi)的石墨坩堝加熱，石墨坩堝中放入被制備的碳－－碳復(fù)合材料，在一定真空度下將坩堝加熱到規(guī)定溫度并通入稀釋的碳?xì)錃怏w。該氣體中的含碳活性基因分解后便沉積于材料表面。

?主要特點

a.自動化高，?全程可自動化操作，具有爐子工作狀態(tài)模擬顯示屏，實時顯示設(shè)備運行狀態(tài)。可配?PLC?可編程控制器及人機界面控制系統(tǒng)。
b.?安全性高，PLC實現(xiàn)安全連鎖，具有超溫、傳感器斷偶、水壓、爐體超壓、水流量、水溫過高等聲光報警。
c.?可配內(nèi)置式或外置式快冷系統(tǒng)。提高工作效率
d.應(yīng)用先進(jìn)的溫度、真空檢測等儀表及傳感元件保證設(shè)備的可靠性。
e.?采用質(zhì)量流量控制器準(zhǔn)確地控制各種流量，利用壓力調(diào)節(jié)閥對爐內(nèi)氣氛壓力進(jìn)行動態(tài)控制，在監(jiān)控條件下進(jìn)行化學(xué)氣相沉積處理。

f.?配特制粉塵過濾器能有效的保護(hù)真空泵，延長真空泵的使用壽命。

設(shè)備規(guī)格可根據(jù)客戶樣件獨立設(shè)計制作。