VCF系列真空碳化爐，是指工件加熱在真空室內(nèi)進(jìn)行，主要用于要求質(zhì)量高的產(chǎn)品和易氧化材料的無(wú)氧處理，該設(shè)備主要用于碳-碳、單晶硅、多晶硅半導(dǎo)體等材料?；驹硎窃谡婵帐覂?nèi)設(shè)有電阻加熱器用于產(chǎn)品加熱，產(chǎn)品置于內(nèi)爐膽內(nèi)，先將室內(nèi)抽成真空狀態(tài)，布置的充氣管路隨工藝設(shè)定的工藝，隨程序充入適量氮?dú)鈭?zhí)行碳化過(guò)程。設(shè)備的基本特點(diǎn)：設(shè)備具備全自動(dòng)控制、監(jiān)控、跟蹤等功能，其配套的元件能夠適應(yīng)長(zhǎng)期、穩(wěn)定、安全、可靠的生產(chǎn)需求。設(shè)備的使用、操作、維修保養(yǎng)便捷。

設(shè)備規(guī)格：