CMU系列高精度三坐標測量機是天準生產(chǎn)的高端測量設備，采用獨特的單邊高架結構形式，具備性能穩(wěn)定可靠、高效率、高精度等特點，可覆蓋絕大多數(shù)觸發(fā)及掃描復雜測量的應用場景。

①自主研發(fā)的軟件、電控及探測系統(tǒng)，具有更好的適配性

②優(yōu)化設計的主體結構和溫度場分布，具有更好的精度穩(wěn)定性和測量速度

③創(chuàng)新性地將直線電機技術運用到坐標測量機，其良好的運動特性有效保證了機器測量精度，又提高了測量效率

④關鍵結構部分采用高精密碳化硅陶瓷材料，移動橋在質量更輕的同時，具備更高剛性與更低溫度線膨脹性能，極大 提高了精度與長期可靠性

⑤單邊高架移動橋式設計，移動質量更輕，驅動更接近移動質心，減小阿貝誤差，有效提高了運動性能與精度穩(wěn)定性

⑥高剛性高性能氣浮導向，無摩擦無磨損，三軸均采用四面環(huán)抱式設計，具備氣浮壓力監(jiān)測功能，有效確保穩(wěn)定性

⑦三軸采用**線溫度線膨脹系數(shù)光柵尺，對溫度變化不敏感，有效提高整機的精度

⑧Z軸采用平衡氣缸氣動邏輯保護和硬件抱死保護兩種保護機制，可在緊急情況下確保探測系統(tǒng)的安全