(1)微焦斑X光管??????????????????
(2)大面積SDD電制冷半導體探測器
(3)數(shù)字多道分析器
(4)超高精度三維移動平臺
(5)全景和局部兩個工業(yè)高清攝像頭
(6)高低壓電源
(7)激光定位裝置及圖像自動對焦技術
(8)開放式樣品腔及鉛玻璃屏蔽罩
(9)電動調(diào)節(jié)準直器
(10)防撞激光保護器

資料：儀器使用說明書（包括軟件操作說明書和硬件使用說明書）、出廠檢驗合格證明、裝箱單、保修單及其它應提供資料各一份。

標準附件
準直孔：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與Ф0.3mm四種（已內(nèi)置于儀器中）

X射線膜厚測試儀性能：

滿足各種不同厚度樣品以及不規(guī)則表面樣品的測試需求
φ0.1mm的小孔準直器可以滿足微小測試點的需求
高精度移動平臺可**定位測試點，重復定位精度小于0.005mm
采用高度定位激光，可自動定位測試高度
定位激光確定定位光斑，確保測試點與光斑對齊
鼠標可控制移動平臺，鼠標點擊的位置就是被測點
高分辨率探頭使分析結果更加**
良好的射線屏蔽作用