Aris/Soto精密設(shè)備主動(dòng)防震臺(tái)-至一科技
電子顯微鏡主動(dòng)防震臺(tái),掃描隧道顯微鏡STM主動(dòng)防震臺(tái),掃描探針顯微鏡SPM防震臺(tái),半導(dǎo)體設(shè)備主動(dòng)防震臺(tái),激光設(shè)備防震臺(tái).....
用途:用于消除或降低地表附近震動(dòng)源產(chǎn)生的震動(dòng),從而消除或減少由于地表震動(dòng) (包括附近建筑和設(shè)備所產(chǎn)生的震動(dòng))傳導(dǎo)入精密測(cè)量設(shè)備而引起的震動(dòng)干擾,保證精密測(cè)量設(shè)備的運(yùn)行環(huán)境和工作狀態(tài)
應(yīng)用:
光學(xué)顯微鏡
原子力顯微鏡AFM
電子顯微鏡(EM),包括掃面電子顯微鏡SEM,透射電子顯微鏡TEM
掃描隧道顯微鏡STM
掃描探針顯微鏡SPM
聚焦離子束系統(tǒng)FIB
雙電子束系統(tǒng)DualBeam
半導(dǎo)體設(shè)備
光刻機(jī)
晶圓探測(cè)器
電阻拓展測(cè)試系統(tǒng)
激光設(shè)備
光通信設(shè)備......
性能:
主動(dòng)防震自由度:6維
主動(dòng)防震頻率:0.5~100Hz
防震性能:-8dB gain at 1Hz;-20dB gain at 2Hz
Setting Time:<=0.1Sec
售后服務(wù)優(yōu)勢(shì):
1、系統(tǒng)內(nèi)置實(shí)時(shí)診斷工具
2、系統(tǒng)內(nèi)置實(shí)時(shí)性能調(diào)整工具