Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測(cè)系統(tǒng)開發(fā)而來(lái)，采用了VMM 公司好的設(shè)計(jì)和技術(shù)。, 新款Precis 包含了很多可配置選項(xiàng)，使設(shè)備更加通用，耐用以及可靠。

擴(kuò)展了Z軸范圍 – 2.5mm, 5mm or 100mm

透射照明

完整電子繪圖 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 標(biāo)準(zhǔn)

符合人體工程學(xué)的操作員控制臺(tái) ，帶有隱藏鍵盤托盤, 可調(diào)節(jié)高度和角度的控制面板和顯示器, SEMI S8 符合

全自動(dòng)顯微鏡，所有設(shè)置計(jì)算機(jī)控制

很好辨率像素?cái)z像頭

VIEW Metrology Software (VMS™) 可測(cè)組件很廣泛, 可選CAD導(dǎo)入 以及完整的幾何尺寸和公差導(dǎo)入。

MMWin – 晶圓片 和Mask計(jì)量軟件 –晶圓片的重要尺寸和迭置重合測(cè)量, 滑塊 ABS,光掩模和平板顯示器.

標(biāo)準(zhǔn)                        可選

X,Y,Z行程(mm):        200 x 200 x 5               載重:                 12 kg

XY精度:                    E1=(0.25+2L/1000)um

Z 精度:                     E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)

分辨率：                    0.01 微米

視場(chǎng)測(cè)量精度和重復(fù)性：0.01 μm (100x)

直流伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)