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全新的Precis? 200是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測(cè)系統(tǒng)開發(fā)而來，采用了VMM公司好的設(shè)計(jì)和技術(shù)。
, 新款Precis 包含了很多可配置選項(xiàng)，使設(shè)備更加通用，耐和用以及可和靠。

• 擴(kuò)展了Z軸范圍?– 2.5mm, 5mm or 100mm
• 透射照明
• 完整電子繪圖?–?完全符合 SEMI S2?和 CE 標(biāo)準(zhǔn)
• 符合人和體工程學(xué)的操作員控制臺(tái)?，帶有隱藏鍵盤托盤, 可調(diào)節(jié)高度和角度的控制面板和顯示器, SEMI S8?符合
• 全自動(dòng)顯微鏡，所有設(shè)置計(jì)算機(jī)控制
• 好的分辨率像素?cái)z像頭
• VIEW Metrology Software (VMS?)?可測(cè)組件很廣泛,?可選CAD導(dǎo)入?以及完整的幾何尺寸和公差導(dǎo)入。
• MMWin –?晶圓片?和Mask計(jì)量軟件 –晶圓片的重要尺寸和迭置重合測(cè)量,?滑塊 ABS,光掩模和平板顯示器.
• 標(biāo)準(zhǔn)????????????????????????可選
• ?X,Y,Z行程(mm):????????200 x 200 x 50 ? ? ? ? ? ? ?200 x 200 x 100
• **載重:?????????????????12 kg
• XY精度: ? ? ? ? ?????????? E1=(0.25+2L/1000)um
• Z 精度: ? ? ????????? ? ? ? E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)
• 分辨率：????????????????????0.01 微米
• 視場(chǎng)測(cè)量精度和重復(fù)性：0.01 μm (100x)
• 直流伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

Precis 主要用于以下應(yīng)用：
-?亞微米測(cè)量：
◆?? 微器件和電子元器件封裝、引線框
◆?? 微型球狀引腳柵格陣列封裝
◆?? 硬盤驅(qū)動(dòng)臂、探針卡、刀片
-?CD和套刻測(cè)量：
◆? 線寬、涂覆層
◆???MEMS 器件、接觸窗、噴墨打印頭
◆?? 硬盤驅(qū)動(dòng)頭、磁頭等