MicroLine-300是一款桌上型半自動CD測量系統(tǒng)。
主要技術(shù)參數(shù)：
◆    測量范圍(XYZ)：標準：200×200×25mm；可選：300x300x25
◆    視場內(nèi)測量精度：10nm(100X 鏡頭)；Z軸聚焦范圍：25 mm
◆    視場內(nèi)測量范圍：0.5um~400um；
◆    視場內(nèi)測量重復(fù)性(100x 物鏡)：  晶圓上                                                    掩模板上0.005um(1δ)；   

◆   承重：2kg

◆   標配鏡頭10x，可選鏡頭：5X,20X, 50X, 100X 

MicroLine 系列主要用于測量半導(dǎo)體、MEMS 晶圓、光刻掩模板等尺寸和涂覆物(多層套刻、圓、對接誤差等)量測。
MicroLine 臨界尺寸測量系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)用于半導(dǎo)體和MEMS晶圓以及光掩模CD量測。Microline 系列可自動測量線寬，迭置重合，和其他關(guān)鍵尺寸。

MicroLine裝備有高性能光學顯微鏡，高精度運動平臺，可測量0.5 微米到400 微米大小的產(chǎn)品，測量精度和重復(fù)性在10nm （1  σ ，100倍物鏡）。