微小氣體質(zhì)量流量計(jì) 微量氣體質(zhì)量流量計(jì)

MC-1900L 氣體質(zhì)量流量控制器

• ◆    流量可覆蓋2sccm-5000sccm非腐蝕性氣體(相對(duì)于N2)
• ◆    兼容RS485和模擬通訊模式,通訊模式及協(xié)議
• ◆    杰出的**性 ≤ ±0.25%F.S及多氣體多量程選擇
• ◆    ****的響應(yīng)時(shí)間及穩(wěn)定性
• 規(guī)格
• MC-1900L

• Full Scale Range (N2 Eqv)
• 單氣體2-5000sccm

• Control Valve Type 閥門(mén)類(lèi)型
• 常開(kāi)式或常閉式螺線管 (NC or NO)

• Fitting接頭
• 1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容IGS 底部/表面貼裝(c或w密封)

• Seals 密封
• 橡膠 Viton

• Response Time 響應(yīng)時(shí)間
• ≤1Sec(超過(guò)滿(mǎn)量程10%)

• Accuracy**性
• 25%-****:≤±1%S.P (滿(mǎn)量程25%到****)2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (滿(mǎn)量程2%到25%)

• Linearity 線性度
• ≤ 滿(mǎn)量程的±0.5%

• Repeatability 重復(fù)性
• ≤ 滿(mǎn)量程的±0.2%

• Differential Pressure 壓差
• 7 - 40psi

• Leak lntegrity 漏率
• Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

• Control Range 控制范圍
• 滿(mǎn)量程的2-****

• Max Operating Pressure **操作壓力
• 70psi

• Proof Pressure 承受壓力
• **值140psi

• Communication Type 通訊模式
• 模擬0-5V / RS485

• Input Power輸入功率
• +15VDC ±2% at 100mA-15VDC ±2% at 200mA

• Command Signal 輸入模擬信號(hào)
• 模擬信號(hào)0-5 VDC(輸入阻抗>1MΩ)/數(shù)字信號(hào) 0-****

• Output Signal 輸出模擬信號(hào)
• 模擬信號(hào)0-5 VDC(輸入阻抗>2KΩ)/數(shù)字信號(hào) 0-****

• Power Consumption 功耗
• 4.5W

• Temperature Range 溫度范圍
• 5-45 Deg C

• Materials 材料
• 316LSS,316SS,PTFE

• Weight 重量
• 0.9kg