-
氫氣質量流量計 氦氣質量流量計
◆ 流量可覆蓋2sccm-5000sccm非腐蝕性氣體(相對于N2)
-
◆ 獨特傳感器設計,極高精度及性能
-
◆ 易于集成-標準接頭尺寸
-
◆ 報警及診斷功能
- 規(guī)格
- MC-AN600
- Full Scale Range (N2 Eqv)
- 單氣體2-5000sccm
- Control Va*e Type 閥門類型
- 常開式或常閉式螺線管 (NC or NO)
- Fitting 接頭
- 1/4"VCR or 1/4"Swagelok
- Seals 密封
- 橡膠 Viton
- Response Time 響應時間
- 到達設定點±2% 所需時間≤1Sec
- Accuracy **性
- ≤滿量程1%
- Linearity 線性度
- ≤ 滿量程的±0.5%
- Repeatability 重復性
- ≤ 滿量程的±0.2%
- Differential Pressure 壓差
- 7 - 40psi
- Leak lntegrity 漏率
- Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)
- Control Range 控制范圍
- 滿量程的2-****
- Max Operating Pressure *操作壓力
- 50psi
- Proof Pressure 承受壓力
- *值150psi
- Communication Type 通訊模式
- 模擬0-5V / 4-20mA
- Input Power
輸入功率 - +15VDC ±2% at 50mA
-15VDC ±2% at 150mA
- Command Signal 控制信號
- 0-5 VDC / 4-20 mA
- Output Signal 輸出模擬信號
- 0-5 VDC / 4-20 mA
- Power Consumption 功耗
- 3.1W
- Temperature Range 溫度范圍
- 5-45 Deg C
- Materials 材料
- 316LSS,316SS,PTFE
- Weight 重量
- 0.9kg