主要用于半導(dǎo)體硅晶體材料，寶石晶體片，硅片外延片等產(chǎn)品的單面拋光，屬于電子材料的拋光裝置。這是一種圓形的、由多層樹脂材料組成的復(fù)合結(jié)構(gòu)、硅片用水（或研磨液）粘貼在鑲嵌層圓孔內(nèi)的吸附膜上。采用本實(shí)用新型，可對(duì)硅片，藍(lán)寶石進(jìn)行無(wú)蠟拋光，其表面總厚度變化小于6μm，省時(shí)、省力，本實(shí)用新型制造簡(jiǎn)單、成本低。

1.**平整度，并提高生產(chǎn)力

2.無(wú)須溶劑清洗，可縮短工藝時(shí)間

3.吸水度比其他產(chǎn)品低3倍以上

4.價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力高，可降低成本、環(huán)保

專門用于安裝無(wú)蠟硅晶片、LCD基片、玻璃面板、ITO導(dǎo)電玻璃等產(chǎn)品的減薄拋光