有恒測(cè)控智能擴(kuò)散硅壓力變送器的制造中一般利用集成電路平面工藝,用雜志擴(kuò)散或離子注入的方法形成電阻器。擴(kuò)散層被用來(lái)作為應(yīng)力或應(yīng)變敏感的電阻器,電流邊與擴(kuò)散層被用來(lái)作為應(yīng)力或應(yīng)變敏感的電阻器,電流便與擴(kuò)散層表面平行流過(guò)電阻器。在壓力傳感器的設(shè)計(jì)。制造時(shí),需要了解不同溫度下硅擴(kuò)散層的壓阻特性,選擇合適的擴(kuò)散條件,選用一定型號(hào)、晶向的擴(kuò)散電阻以獲得較高的靈敏度和曉得靈敏度系數(shù),力求使壓力傳感器有良好的性能。擴(kuò)散層的平均壓阻系數(shù):擴(kuò)散層中雜質(zhì)往往呈誤差函數(shù)(恒定表面源條件下)或余誤差函數(shù)(恒定表面濃度條件)分布。也就是說(shuō),表面雜質(zhì)濃度高,電流便呈現(xiàn)不均勻分布。雖然應(yīng)力在電阻的縱剖面是均勻分布的,而壓阻系數(shù)取決于雜質(zhì)濃度。以此在擴(kuò)散層上電阻的改變的百分量是不同的。這又使擴(kuò)散層中電流在縱向中心分布并造成壓阻值和應(yīng)力之間的非線性。
擴(kuò)散層硅的電阻溫度特性與壓力傳感器的熱零點(diǎn)漂移以及熱靈敏度有密切的關(guān)系。壓力傳感器中擴(kuò)散層電阻的非線性也是一個(gè)值得注意的問(wèn)題。她會(huì)引起傳感器壓阻電橋的輸出出現(xiàn)零點(diǎn)電漂移現(xiàn)象。所謂非線性是指擴(kuò)散電阻的阻值與外加電壓有關(guān),不能保持恒定不變。
有恒測(cè)控智能擴(kuò)散硅壓力變送器技術(shù)指標(biāo)物理指標(biāo):
測(cè)量介質(zhì):氣體、蒸汽、液體
精確度:±0.05%、±0.075%、±0.1%(包括從零點(diǎn)開始的線性、回差和重復(fù)性)
穩(wěn)定性:±0.1%/3年
環(huán)境溫度影響:≤±0.04%URL/10℃
靜壓影響:±0.05%/10MPa
電源:10~36V DC(推薦24V DC)
電源影響 : ±0.001% /10V (10~36V DC),可忽略不計(jì)
調(diào)量程的參考精度:若 TD>10 (TD=較大量程 / 調(diào)節(jié)量程 ) 則為:±(0.075×TD)%
平方根輸出精度為以上線性參考精度的 1.5 倍
環(huán)境溫度:-40℃ ~85℃
測(cè)量介質(zhì)溫度:-40℃~120℃
貯藏溫度:-40℃ ~105℃
顯示:LCD、OLED
顯示器顯示模塊溫度:-20℃~70℃(LCD)、-40℃~80℃(OLED)
物理參數(shù):
測(cè)量膜盒:不銹鋼316L
膜片:不銹鋼316L、哈氏合金C
過(guò)程法蘭:不銹鋼304、316L
螺母及螺栓:碳鋼鍍鋅、不銹鋼
填充液:硅油、氟油、高溫硅油等
密封圈:丁腈橡膠、氟橡膠、聚四氟乙烯
變送器外殼:鋁合金材質(zhì),外表噴涂環(huán)氧樹脂
外殼密封圈:丁腈橡膠
銘牌:不銹鋼304
重量:2.8kg(無(wú):安裝支架、過(guò)程連接)
外殼防護(hù)等級(jí):IP67
防爆等級(jí):ExdⅡCT6、ExiaⅡCT6