SUSS MicroTecv美國(guó)蘇斯公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體和太陽(yáng)能行業(yè)用光刻機(jī),目前得到業(yè)界的廣泛認(rèn)同,該系列光刻機(jī)曝光系統(tǒng)的曝光燈,主要是由德國(guó)歐司朗公司生產(chǎn)的曝光燈進(jìn)行配套供應(yīng)。歐司朗曝光燈系列,具體良好的光通量,穩(wěn)定的光強(qiáng)度以及**的品質(zhì)受到業(yè)界的青睞。目前給蘇斯光刻機(jī)配套的相關(guān)參數(shù)如下:
HBO? short-arc mercury varour lamps for microlithography |
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Lamps for SüSS Equipment |
Lamp type |
Max life[h] |
Equipment(適用機(jī)型) |
HBO 200W/DC |
1000 |
M**3 |
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HBO 350W/S |
600 |
MA4,MA6,MA8,MA150,M**3,M**21,UV300/500 |
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HBO 1000W/D |
1000 |
MA150,MA200,MA4,MA6,MA8 |
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HBO 5000W/S |
1000 |
MA300 |
以下是歐司朗曝光燈的技術(shù)參數(shù):
如果有需要suss 蘇斯光刻機(jī)用歐司朗系列曝光燈的客戶,請(qǐng)與我們公司聯(lián)系,我們?nèi)€代理德國(guó)歐司朗曝光燈,原裝進(jìn)口,品質(zhì)保證,交貨及時(shí)。