Aera FC-D980系列數(shù)碼 MFC（質(zhì)量流量控制器）和 MFM（質(zhì)量流量計(jì)）具有卓越的性能和通用性，從而大幅節(jié)約了成本且易于使用。多種輸出選擇允許進(jìn)行模擬或數(shù)碼控制，可用于目前大多數(shù)控制和通信配置。為適應(yīng)您優(yōu)先選擇的價(jià)值和功能，該產(chǎn)品線擁有單氣體和多氣體、多范圍的 MFC。多氣體、多范圍可以通過顯著減少備件庫(kù)存要求降低成本。RS-485 通信（帶有轉(zhuǎn)換器的 RS-232）與全面的診斷和警報(bào)功能相結(jié)合，達(dá)到了全面的監(jiān)控和控制性能，操作參數(shù)就在您的彈指之間。

性能:

出色的**性、可重復(fù)性和穩(wěn)定性

大幅節(jié)約了成本

**限度的運(yùn)行通用性

****的可靠性

特點(diǎn):

多氣體、多范圍選擇

模擬、模擬/數(shù)碼以及數(shù)碼模式

壓電控制閥

多警報(bào)和診斷功能

金屬密封，泄漏率為1x10-10

電解拋光且超潔凈氣體濕潤(rùn)表面