TKSCT氣體過濾器系列有:

哈式合金氣體過濾器

不銹鋼氣體過濾器

PTFE氣體過濾器

IGS氣體過濾器

陶瓷氣體過濾器

材質(zhì)結(jié)構(gòu)

超高純在線式過濾器■哈式合金氣體過濾器全哈氏合金結(jié)構(gòu)■高溫及動態(tài)壓力測試■不銹鋼氣體過濾器全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)■尺寸緊湊，可變的末端連接■ PTFE氣體過濾器濾芯為PTFE材質(zhì),本體材質(zhì)為316L，內(nèi)部電解拋光■ IGS氣體過濾器具有高可靠性耐沖擊和震動■陶瓷氣體過濾器內(nèi)部為316L 電解拋光處理廣泛應(yīng)用于化學(xué)品行業(yè)

產(chǎn)品特性

? 流量大，12-800SLPM

? 受腐蝕的部位采用哈氏合金，適用于惰性氣體及腐蝕性強的氣體

? 卓越的性能滿足大多數(shù)半導(dǎo)體工藝氣體

? PTFE材料具備良好的抗腐蝕性能及兼容性

? 過濾等級為0.0025μm，即使在高流速的情況下，也不會引起出口端壓力的下降

? 內(nèi)部拋光等級為5Ra，防止其內(nèi)部污染

? 通過高溫氮氣及去離子水清潔，滿足半導(dǎo)體行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)

? 清潔及包裝在100級潔凈室內(nèi)

? ****氦氣檢測