長(zhǎng)度測(cè)量

長(zhǎng)度測(cè)量

封閉式光柵尺能有效防塵、防切屑和防飛濺的切削液，是用于機(jī)床的理想選擇。

敞開(kāi)式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒(méi)有機(jī)械接觸。這些光柵尺的典型應(yīng)用包括：測(cè)量機(jī)、比較儀和其它長(zhǎng)度計(jì)量精密設(shè)備以及生產(chǎn)和測(cè)量設(shè)備，例如用在半導(dǎo)體工業(yè)中。

增量式光柵尺決定當(dāng)前位置的方式是由原點(diǎn)開(kāi)始數(shù)測(cè)量步距或細(xì)分電路的計(jì)數(shù)信號(hào)數(shù)量。海德漢的增量式光柵尺帶有參考點(diǎn)，開(kāi)機(jī)時(shí)必須執(zhí)行參考點(diǎn)回零，操作非常簡(jiǎn)單、快捷。

**式光柵尺無(wú)需執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作就能直接提供當(dāng)前位置值。光柵尺的**位置值通過(guò)EnDat接口或其它串行接口傳輸。

敞開(kāi)式直線光柵尺

敞開(kāi)式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于對(duì)測(cè)量精度要求極高的機(jī)床和系統(tǒng)。

典型應(yīng)用包括：

?半導(dǎo)體業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備

?PCB電路板組裝機(jī)

?超高精度機(jī)床

?高精度機(jī)床

?測(cè)量機(jī)和比較儀，測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備

?直驅(qū)電機(jī)

**式編碼器

系列

說(shuō)明

?LIC

LIC敞開(kāi)式直線光柵尺能夠?qū)π谐踢_(dá)28 m和高速運(yùn)動(dòng)進(jìn)行**位置測(cè)量。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。

輸出位置值的編碼器

系列

說(shuō)明

?LIP 200

LIP 211和LIP 291增量式直線光柵尺輸出位置值的位置信息。正弦掃描信號(hào)在讀數(shù)頭中被高倍頻細(xì)分且其計(jì)數(shù)功能將細(xì)分的信號(hào)轉(zhuǎn)換成位置值。與所有增量式編碼器一樣，借助參考點(diǎn)確定**原點(diǎn)。

增量式編碼器

系列

說(shuō)明

?LIP

超高精度

LIP敞開(kāi)式直線光柵尺擁有極小的測(cè)量步距，極高的精度和重復(fù)精度。掃描方式為干涉掃描，測(cè)量基準(zhǔn)為DIADUR相位光柵。

?LIF

高精度

LIF敞開(kāi)式直線光柵尺的測(cè)量基準(zhǔn)是SUPRADUR工藝制造的玻璃基體光柵，采用干涉掃描方法。特點(diǎn)是精度高和重復(fù)精度高，安裝特別簡(jiǎn)單，有限位開(kāi)關(guān)和回零軌。特殊型號(hào)的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環(huán)境中（參見(jiàn)其單獨(dú)“產(chǎn)品信息”）。

?LIDA

高速運(yùn)動(dòng)和大測(cè)量長(zhǎng)度

LIDA敞開(kāi)式直線光柵尺特別適合運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s的高速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用，支持多種安裝方式，安裝特別簡(jiǎn)單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求，metaLLUR光柵的基體可為鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開(kāi)關(guān)。

?PP

二維坐標(biāo)測(cè)量

PP二維編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)是平面DIADUR工藝制造的相位光柵，采用干涉掃描方法。用于測(cè)量平面中位置。

?LIP/LIF

高真空和超高真空技術(shù)

我們的標(biāo)準(zhǔn)編碼器適用于低真空或中等真空應(yīng)用。高真空或超高真空應(yīng)用的光柵尺需要滿足一些特殊要求。采用的設(shè)計(jì)和材質(zhì)必須滿足應(yīng)用要求。更多信息，參見(jiàn)“真空中應(yīng)用的直線光柵尺”產(chǎn)品信息。

以下敞開(kāi)式直線光柵尺專(zhuān)用于高真空或超高真空應(yīng)用環(huán)境。

? 高真空：LIP 481 V和LIF 481 V

? 超高真空：LIP 481 U

LIC 4100

型號(hào)

基線誤差 基體和安裝方式 細(xì)分誤差 測(cè)量長(zhǎng)度

精度等級(jí) 局部

LIC 4113

LIC 4193

± 3 μm

± 5 μm

≤ ± 0.275 μm/ 10 mm

玻璃或玻璃陶瓷光柵尺，嵌入在安裝面中

± 20 nm 240 mm 至3040 mm

LIC 4115

LIC 4195

± 5 μm ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并預(yù)緊 ± 20 nm 140 mm 至 28440 mm

LIC 4117

LIC 4197

± 3 μm

± 5 μm

± 15 μm ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固定 ± 20 nm 240 mm 至 6040 mm

LIC 4119

LIC 4199

± 3 μm

± 15 μm ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) 鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上 ± 20 nm 70 mm 至 1020 mm

LIC 4119 FS

± 3 μm

± 15 μm ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) 鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上 ± 20 nm 70 mm 至 1820 mm

LIC 2100

型號(hào)

基線誤差

基體和安裝方式

細(xì)分誤差

測(cè)量長(zhǎng)度

精度等級(jí) 局部

LIC 2117

LIC 2197

± 15 μm

鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固定

± 2 μm 120 mm 至 3020 mm

LIC 2119

LIC 2199

± 15 μm 鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上 ± 2 μm 120 mm 至 3020 mm

LIP series for very high accuracy

Model

Basline error Substrate and mounting Interpolation error Measuring length

Accuracy grade

Intervall

LIP 382

± 0.5 μm ≤ ± 0.075 μm/ 5 mm Zerodur glass ceramic embedded in bolted-on Invar carrier

± 0.01 nm 70 mm to 270 mm

LIP 211

LIP 281

LIP 291

± 1 μm

± 3 μm ≤ ± 0.125 μm/ 5 mm Scale of Zerodur glass ceramic with fixing clamps

± 1 nm 20 mm to 3040 mm

LIP 6071 LIP 6081

±1 μm (bis Messl?nge 1020 mm); ±3 μm ≤ ± 0.175 μm/ 5 mm Scale of Zerodur glass ceramic, by adhesive or fixing clamps ± 4 nm

20 mm to 3040 mm