1.一鍵式全自動(dòng)執(zhí)行清洗和吹干動(dòng)作，整個(gè)過程無需人工干預(yù)。

2.采用彩色觸摸屏作為人機(jī)操作界面；集成操作和錯(cuò)誤、報(bào)警顯示。

3.出水壓力可調(diào)。

主電機(jī)（清洗、吹干）轉(zhuǎn)速可調(diào)。

清洗、吹干時(shí)間可調(diào)。

4.適用于3”/4”/5”/6”/8”Wafer；

適用于6”和8”的frame。