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企業(yè)特殊行業(yè)經營資質信息公示
特點/應用
◆ 滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等.
◆ *大可用于8英寸以內樣品測試
◆ 同軸絲杠傳動結構,線性移動
◆ 兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動
◆ 可升級做射頻,大電流方面的測試和激光修復應用
臺體規(guī)格
尺寸 | 4英寸/6英寸/8英寸 |
水平旋轉 | 可360度旋轉,可微調15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置 |
X-Y移動行程 | 4英寸*4英寸/6英寸*6英寸 |
X-Y移動精度 | 10微米/1微米 |
樣品臺Z軸調節(jié) | 可升降10mm |
樣品固定 | 真空吸附,中心孔吸附,多圈吸附環(huán) |
針座平臺 | U型針座平臺,*多可放置6個探針座 |
背電級測試 | 樣品臺電學獨立懸空,4mm插孔可接背電級 |
外形尺寸 | 400mm長*400mm寬*600高/580mm*480mm寬*600mm高 |
重量 | 約40kg/60kg |
光學系統(tǒng)
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移動行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸行程50.8mm |
光源 | 外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
探針座
X-Y-Z移動行程 | 12mm*12mm*12mm |
移動精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
線纜 | 同軸線/三軸線 |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
針尖直徑 | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
針尖材質 | 鎢鋼/鈹剛 |
可選附件
加熱臺 |
顯示器 |
轉接頭 |
射頻測試配件 |
屏蔽箱 |
鍍金卡盤 |
光電測試配件 |
高壓測試配件 |
顯微鏡快速傾仰裝置 |
探針卡夾具 |
激光系統(tǒng) |