集成熱壓阻共振懸臂梁,**可變換,成像時間 少于1分鐘(無需激光對準);熱距離傳感器可在數(shù)秒內(nèi)自動化完成針尖靠近;熱電MEMS驅(qū)動器高精移動懸臂針尖,具有低漂 移,適應(yīng)長時成像實驗;系統(tǒng)高度集成小巧,具有極強的振動免疫性,可 在任意平面上直接測量,無需隔震;氧化鋁針尖具有超長使用壽命,可連續(xù)成像超過 10000張。
nGauge應(yīng)用方向
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技術(shù)參數(shù)
nGuage AFM參數(shù)
**掃描范圍(XYZ) | 20umx20umx10um |
XY掃描分辨率 | <0.5nm |
XYZ驅(qū)動方式 | 電熱法 |
傳感器 | 壓阻 |
動態(tài)RMS噪聲 | <1nm |
成像模式 | 間斷接觸,動態(tài)AFM |
掃描速度 | >8lines/s |
硬件參數(shù)
系統(tǒng)尺寸 | 70mmx90mmx75mm |
載物臺尺寸(XY) | 70mmx43mm |
Z軸行程 | 20mm |
驅(qū)動方式 | 步進電機 |
系統(tǒng)重量 | 450g |
隔震裝置 | 無需額外隔震裝置 |