?特點和優(yōu)勢：

l?結構簡明，使用便捷，造就成功

l?集成世界*進的技術于一體

l?堅固而可靠的設計

l?*的性能價格比

l?駐地的配件供應與服務

l?世界范圍的杰出的產(chǎn)品支持團隊

?

產(chǎn)品命名規(guī)則：

類型一：NEO ABC

AB——可加工晶圓尺寸：20：6吋與8吋；30：8吋與12吋

C——等離子模組方式：1-RIE；2-微波；3-雙源；4-DCP

類型二：NEO ABCD

A——可加工晶圓尺寸：2：6吋與8吋；3：8吋與12吋

B——腔體數(shù)量

C——左側腔體等離子模組方式：1-RIE；2-微波；3-雙源；4-DCP

D——右側腔體等離子模組方式：1-RIE；2-微波；3-雙源；4-DCP

?

與普通等離子清洗機的區(qū)別：

1.?TRYMAX設備具有更高的精度控制和均勻性控制

2.?TRYMAX設備的等離子體屬于各向同性等離子體，執(zhí)行的輕度灰化

?

主要使用場景：

1.?實際上可以應用到半導體加工的前、后道工序。但是，由于傳統(tǒng)思想約束，亞洲地區(qū)只用于后道工序。在歐美，前道工序的應用案例還是很多。

2.?目前在后道工序中必須使用的場景是光刻（黃光工藝）之后和金屬鍍層之前。其它更多的應用需要根據(jù)用戶和使用體驗。

3.?更多客戶需要改善表面質量，提高后續(xù)工藝可靠性的環(huán)節(jié)。

?

等離子模組：

1.?僅RF

a)?等離子源

i.?種類：RIE (Reactive Ion Etching)

ii.?頻率：13.54MHz

iii.?功率：0-1000W

b)?勻流板/電極：鋁

c)?載臺：

i.?狀態(tài)：冷態(tài)

ii.?功率：0-1000W

iii.?冷媒：冷水

iv.?材質：帶陶瓷環(huán)的鋁

v.?溫度范圍：20-60℃?±2℃

vi.?針：陶瓷

vii.?針不上抬

d)?工作壓力：125-750mT(*2000mT)

e)?典型應用場景：

低溫狀態(tài)下加工：去底膜、光刻膠、PI刻蝕、PBO濺鍍刻蝕、SiO₂與Si₃N₄刻蝕、SiC刻蝕、氬濺鍍刻蝕。

2.?僅微波

a)?等離子源：

i.?種類：順流微波等離子

ii.?頻率：2.45GHz

iii.?功率：2kW或3kW

iv.?微波管：石英或藍寶石

b)?勻流板：

i.?類型：擋板

ii.?材質：石英或陶瓷

iii.?數(shù)量：2個（上下各1）

c)?載臺：

i.?類型：加熱

ii.?冷卻：氣冷（選項）40psi的潔凈干燥壓縮空氣

iii.?材質：鑄鋁

iv.?溫度范圍：20-250℃ ±2℃

v.?針：金屬

vi.?針抬升：13mm

d)?工作壓力：60-120mT(*2000mT）

e)?典型應用場景：

高-低溫狀態(tài)下加工：去除大量光刻膠（高溫）、底膜（中-低溫）、HDIS（中、高溫）、PI刻蝕（脫模層去除）、Poly-Si,Si0₂, Si₃N₄刻蝕、TSV與凹腔清潔、SU8刻蝕、EtchBOSCH DRIE Polymer Removal

3.?雙源

a)?等離子源：

i.?微波

1)?功率：2kW或3kW

2)?微波管：石英或藍寶石

ii.?RF

1)?頻率：13.54MHz

2)?功率：1kW

b)?勻流板/電極：鋁

c)?載臺：

i.?狀態(tài)：冷態(tài)

ii.?功率：0-1000W

iii.?冷媒：冷水

iv.?材質：帶陶瓷環(huán)的鋁

v.?溫度范圍：20-60℃?±2℃

vi.?針：陶瓷

vii.?針不上抬

d)?工作壓力：125-750mT(*2000mT）

e)?特點：比僅RF均勻性高，生產(chǎn)效率高

f)?典型應用場景：

低溫狀態(tài)下加工：去除凸點底膜、光刻膠、PI與BCB刻蝕、PBO濺鍍刻蝕、SiO₂和Si₃N₄刻蝕、SiC刻蝕、Ta與Ti及Si刻蝕、SU8刻蝕、氬濺鍍刻蝕

4.?DCP

NEO XXXXDispenseMate?系列是具有點膠技術能力的集成式閉環(huán)工藝控制桌面式點膠系統(tǒng)。作為桌面型點膠設備已具備當今很多**的自動化點膠性能。

D-593型具有325×325毫米的組合點膠及圖像識別的X-Y軸點膠工作區(qū)域。

? DispenseMate? 系統(tǒng)提供的點膠控制技術基于NordsonASYMTEK*進的在線點膠系統(tǒng)，包括閉環(huán)控制DC伺服運動控制系統(tǒng)、Jet- on-the-Fly噴射點膠功能以及 面向客戶的可直觀編程的Fluidmove ?軟件。

其它的標準配置還包括一個集成的機械高度探測器和一個具備全自動識別可視系統(tǒng)，該系統(tǒng)帶有程序控制光源。此外，標準配置還包括可編程的閉環(huán)噴嘴以及經(jīng)過程序設定可監(jiān)測溫度和記錄數(shù)據(jù)的針頭加熱控制。同時還包括可實現(xiàn)小點點膠的動態(tài)點膠控制。

離線 MFC/CPJ是D-593型的標準性能， 通過在用戶的數(shù)值范圍內(nèi)稱量樣品和手動輸入測量值到Fluidmove中實現(xiàn)自動流量計算。

Fluidmove的編程程序可向上兼容并能輕松轉移到其他Nordson ASYMTEK的在線系統(tǒng)， 包括 Spectrum II^TM和Quantum? ?點膠平臺。

此外，F(xiàn)luidmove軟件提供SPC數(shù)據(jù)記錄，用于工藝流程追溯和可選的CAD導入。

從批量生產(chǎn)到大規(guī)模生產(chǎn)，用戶將始終得到Nordson ASYMTEK 遍布全球的經(jīng)驗豐富的工程、應用發(fā)展和技術服務網(wǎng)絡的支持。

?

技術規(guī)格：

運動系統(tǒng)：

類型: 閉環(huán)控制無刷DC伺服馬達

編碼器精度: 10 微米

X-Y 定位精度: ± 75 微米 (0.003 英寸)

X-Y 貼裝精度: ± 100 微米 (0.004 英寸), 3 sigma

X-Y 加速度: 0.25 克*, S型反彈曲線

X-Y 可重復性: ± 25 微米 (0.001 英寸)

Z軸可重復性: ± 25 微米 0.001 英寸)

Z軸移動: 75 毫米 (3.0 英寸)

X-軸*移動: 325 x 325 毫米 (12.8 x 12.8 英寸)

視圖和照明

可視模式: 全自動模式識別可視系統(tǒng)

照明: 可編程, 同軸, 紅/藍 LED, 256 階調色

計算機

搭配鼠標操作的Windows? 操作系統(tǒng)的筆記本電腦。

軟件

用戶使用環(huán)境: ? Fluidmove? 軟件

操作系統(tǒng): ? Windows? OS

膠體輸出方式

DispenseJet? 噴射閥: DJ-9500

NexJet? 噴射點膠系統(tǒng): NJ-8

Heli-Flow? 螺旋泵: DV-7000, DV-8000

點膠閥: DV-01, DV-02, DV-03, DV-05,

DV-07 和 DV-09

載荷

工具 (Z軸): 3 千克 (6.6 磅)

工作區(qū)域載荷 : 5 千克 (11 磅)

注：*有效載荷為7千克 (15.4 磅) 包括加熱平臺

點膠區(qū)域 (非真空加熱平臺)

(包括服務站, 攝像頭, 點膠閥, 和高度探測器) ：225 x 275 毫米(?8.9 x 10.8 英寸)

廠區(qū)要求

系統(tǒng)占地面積 (不帶筆記本電腦): 567 x 764 x 664 毫米 (寬 x 深 x 高)

空氣供應: 85 升/分鐘, 620 kPA?(3 CFM @ 90 psi)

電源: 100-240 VAC, 5 安培50/60 赫茲, 單相

重量: 45 千克 99.2 磅)

標準兼容: CE; SEMI-S2; SEMI-S8; 兼容WEEE/RoHs

標準特征

動態(tài)點膠控制 (DDC)

閉環(huán)控制, 集成機械高度探測器

閉環(huán)針頭/噴嘴加熱控制

飛行中噴射 (JOF)

空氣低壓警告，帶可調節(jié)設置點

低膠量感應器

精密空氣調節(jié)閥

服務站: 集成真空清潔器/針頭感應器

基于軟件, 離線MFC/CPJ

可選配件

激光高度探測器

低膠量感應器硬件和軟件

針頭加熱組件(兼容DV系列點膠閥)

軟件: CAD數(shù)據(jù)導入

軟件: SECS/GEM界面

系統(tǒng)外框帶外置控制箱

加熱平臺: 非真空或真空

?