性能描述
BP-2B型烘膠臺(tái)在半導(dǎo)體工藝制備過(guò)程中,主要用于光刻工藝中的前烘和堅(jiān)膜,具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點(diǎn);可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定工作,可廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)。
技術(shù)指標(biāo):
1.電源輸入:AC220/240V,50HZ
2.功率:600W
3.烘烤溫度:≤200℃
4.控溫精度:±1℃
5.控溫形式:采用溫控儀PID調(diào)節(jié)(功率調(diào)節(jié)),自動(dòng)測(cè)溫,控溫。
6.熱板規(guī)格:Φ200
7.熱有效區(qū)域:≤Φ200
8.外形尺寸:280×360×270
9.整機(jī)重量:10Kg.