性能描述
SC-1B標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機主要適用于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃等工藝制版及表面涂覆,各種光刻膠表面膜制備。
主要技術(shù)指標(biāo)
1. 控制顯示:LED數(shù)字控制器,用戶可通過控制器進行參數(shù)修改設(shè)置
2.勻膠模式:可同時輸入七組數(shù)值,即轉(zhuǎn)速及勻膠時間可任意設(shè)置為Ⅰ檔、Ⅱ擋、……Ⅶ檔,轉(zhuǎn)速啟動后先低速運轉(zhuǎn)(Ⅰ檔),然后自動執(zhí)行Ⅱ檔、……Ⅶ檔,直至達到高速運轉(zhuǎn)。
3.勻膠時間:1~9999s任意時間可設(shè)置
4.勻膠速度:0~8000rmp可調(diào)
5.旋轉(zhuǎn)加速度:0~8000rpm/sec 由低速到高速加速時間0.1s~0.5s
6.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1rmp
7.涂膠均勻性:±3%
8.可鍍膜尺寸:Ф5~Ф200mm
9.基片厚度: ≤5mm
配置參數(shù)
1.設(shè)備配置Ф200mm接膠裝置
2.電機額定功率90W,額定轉(zhuǎn)速8000rmp
3.吸氣系統(tǒng)配置FY-1C真空泵,抽氣速率60L/min(用戶可選配無油型真空泵)
4.樣片托可按用戶要求規(guī)格尺寸定做
5.輸入電源: AC220V/240V 50HZ
6.機身尺寸: 280×360×240mm
7.機身重量:10Kg