**的智能化設(shè)計(jì)、高配置、高穩(wěn)定性機(jī)型。PC控制系統(tǒng),更好的可操控性可編程設(shè)計(jì)。5“人機(jī)界面,全中文操作系統(tǒng),更方便操作。適合多種材料勻膠、制版工藝。 廣泛應(yīng)用于微電子、光電子、通訊、微機(jī)械、材料科學(xué)及新能源等領(lǐng)域。
勻膠機(jī)主要構(gòu)造:
采用無刷伺服電機(jī),全閉環(huán)數(shù)字編碼器測(cè)速機(jī)構(gòu),實(shí)測(cè)整個(gè)過程馬達(dá)速度。機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、**生銹,便于清洗。排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺(tái)底部(以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。透明可視密封蓋可以在旋涂作業(yè)時(shí)完全隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。配有真空泵電源輸出接口與抽氣接口,由界面集中控制。
勻膠機(jī)主要性能指標(biāo):
機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)
旋涂程序:
用戶可通過PC界面設(shè)置和存儲(chǔ)工藝參數(shù),最多可存儲(chǔ)15組參數(shù),支持多段速。
轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-5,000rpm 旋涂加速度:0-5000rpm/sec,加、減速時(shí)間可自由設(shè)置(0-20000ms)
馬達(dá)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 ±1rpm
測(cè)速精度:工藝時(shí)間設(shè)定: 0-9,999.9 sec/step 0.1 精度
可鍍膜尺寸:5mm-200mm(8〞)
旋涂作業(yè)均勻性:±3
設(shè)備尺寸:380mm W × 290mm D × 260mm H
配置參數(shù):
勻膠腔室內(nèi)徑Ф260mm ,不銹鋼材質(zhì)、可視透明上蓋 抽氣接口: Ф8mm快速接頭,配Ф8mm透明抽氣管
真空吸盤:標(biāo)配兩個(gè)。
真空系統(tǒng):100L/min無油真空泵一臺(tái)
電源輸入: AC220V/240V 50HZ
整機(jī)功率:630W (真空泵230W 主機(jī)400W)
機(jī)身重量:10Kg