設(shè)備簡介：

雙溫區(qū)的PECVD管式爐系統(tǒng)，組成部分為500W的射頻發(fā)生器、可定位的獨立滑動式燒結(jié)爐、高精度質(zhì)量流量混合系統(tǒng)、穩(wěn)定防反油真空系統(tǒng)。此款PECVD可用于生長納米線或用CVD方法來制作各種薄膜。

主要特點：

1. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染；

2. 上開啟式結(jié)構(gòu)，方便觀察試樣；

3. 產(chǎn)品采用全自動控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示；

4. 可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果；

5. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量。

服務支持：一年有限保修，提供終身支持。