設(shè)備簡介：

  本系統(tǒng)主要包含多溫區(qū)高溫加熱系統(tǒng)、進(jìn)出氣控制系統(tǒng)、電動(dòng)開蓋系統(tǒng)、自動(dòng)進(jìn)液系統(tǒng)、PLC自動(dòng)化控制系統(tǒng)及物料收集系統(tǒng)。

  大尺寸碳化硅爐管及高達(dá)1380℃的最高工作溫度，可極大提高生產(chǎn)效率并適配更廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域。

1、六溫三控加熱系統(tǒng)，溫場(chǎng)分布更均勻；
2、高純硅碳棒加熱，最高工作溫度1380℃，可滿足更多CVD領(lǐng)域需求；
3、六路質(zhì)量流量計(jì)(MFC)氣體控制，同時(shí)設(shè)置有真空系統(tǒng)配合進(jìn)出氣系統(tǒng)使用，可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)抽真空-補(bǔ)氣循環(huán)流程，以最快的速度排空腔體內(nèi)部的氧氣；
4、電動(dòng)開蓋系統(tǒng)，方便爐管的維護(hù)及更換；
5、4.3英寸彩色觸摸液晶屏，并支持多種工作模式的高精密注射泵，可以根據(jù)客戶需要選擇不同容積的針管進(jìn)行試樣的注射；同時(shí)可以跟隨工藝曲線設(shè)置注射泵的開關(guān)，無需后期的人為操作，操作方便性大大提升；
6、PLC自動(dòng)化控制系統(tǒng)集成了設(shè)備上所有的控制，包含加熱和各種動(dòng)作都能夠在屏幕上進(jìn)行操作，并且能夠跟隨工藝曲線設(shè)置不同的進(jìn)氣和流量的設(shè)置，可以實(shí)現(xiàn)不同工藝下的快速組合，并且支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出及預(yù)存和調(diào)用配方功能。

售后服務(wù)：1年質(zhì)保，提供終身支持